第三章(3.3)透射电镜的构造与工作原理) 透射电子显微分析.pptVIP

3.3透射电镜的构造与工作原理 一、 电磁透镜 两种电子透镜:静电透镜和电磁透镜。实际上除了电子枪使用静电透镜外，其它部分均使用电磁透镜聚焦放大。 电磁透镜具有与玻璃透镜相似的光学特性，如焦距，发散角，球差，色差等等。 仪器的性能和图像质量主要取决于电子透镜的性能与质量。通过调整电子透镜的工作参数和相应的透镜光阑尺寸来控制电子图像和分析信号的质量。 （一）电磁透镜的聚焦成像原理 洛伦茨力: 若v和B之间的夹角为?，F的大小为，作用力的大小为： 什么样的磁场能够使电子聚焦成像 考虑电子在均匀磁场中的运动。通电流的长螺线管可以产生一个均匀轴对称磁场，这个均匀磁场称为长磁透镜。在均匀磁场中，只有轴向磁场B。当电子运动方向与磁场方向垂直时，即?=90?，作用在电子上的力： （3-46） 式中 r——电子离光轴的径向距离； m——电子质量。 如果电子运动方向与磁场方向成一的角度??90?，电子运动速度分解为垂直于B的分量v1和平行于B的分量v2： v1使电子作垂直于磁场强度的圆周运动， v2使电子平行于光轴沿z方向作匀速直线运动，电子合成的运动轨迹为一条螺旋线。 非均匀磁场的短磁透镜 透射电子显微镜实际使用的是具有轴对称非均匀磁场的短磁透镜。 短磁透镜通常是由圆柱壳子、短线圈和极靴组件三个部分组成。圆柱壳子由软磁材料做成，内有环形间隙。短线圈由铜做成，装在软磁壳子里。极靴组件由具有同轴圆孔的上下极靴和连接筒组成，套在软磁壳内环形间隙两端。当铜线圈通电时，在极靴圆孔内产生一个非均匀的轴对称磁场。见图3-14。 短磁透镜的聚焦作用 ?的大小取决于透镜的电子加速电压与磁场强度。磁场强度越大，?越大；加速电压越大，电子速度越大，?越小。?的符号取决于磁场强度方向,而磁场强度方向取决于线圈电流方向。 在不同放大倍数下,像相对物的旋转角?不同。 对于一般的图像观察,不需要考虑像的旋转，但在进行晶体学研究时，必须考虑在不同倍数下像相对于衍射花样的相对旋转。物与像之间的相对旋转也可以通过引入另外的透镜来抵消。 （二）电磁透镜的光学性质1．电子光路和光学参量 在光学透镜中，有三个重要的平面，即物平面、像平面和焦面 得到三个重要的距离，即物距u、像距v和焦距f。三者之间的关系由牛顿透镜方程描述： （3-47） 在透射电镜中，物距总是大于焦距，因此我们不考虑虚象的形成。 凸透镜的放大倍数由像距和物距之比确定，由牛顿透镜方程可以导出如下关系： （3-48） 透镜磁场对透镜焦距和放大倍数的影响 透镜磁场强度与透镜设计参数有关。其中极靴内孔、上下极靴之间的间隙和线圈匝数是重要的参数。 但对于一定型号的透射电镜，电磁透镜的类型和规格都已确定，透镜磁场强度的改变是通过调节电磁线圈激磁电流来实现。 而对于使用者来说，只需要调节电磁透镜电流就可以获得不同的放大倍数。 调节电磁透镜电流控制透镜的聚焦状态 2．孔径半角和透镜光阑 大多数散射电子是前散射电子，因此很大比例的电子束可以进入电磁透镜磁场参与成像。 主轴上物点发射的电子束对电磁透镜张开的半角?定义为收集半角，在像点会聚电子束对透镜张开的半角?称为会聚半角。透镜的放大倍数近似等于?/?。 ? 称为透镜孔径半角：非常重要，控制着照明电子束的平行相干性和电子图像的分辨率和衬度。小的照明孔径半角，电子束的平行性和相干性都较高。 物镜孔径半角大小决定了被物镜收集的电子束部分即参与成像的电子数量。散射角?小于物镜孔径半角的电子能够进入电磁透镜磁场参与成像，散射角?大于物镜孔径半角的电子不能被电磁透镜收集。 光阑 透镜孔径半角取决于透镜光阑孔径大小。在透射电子显微镜中有三个光阑，聚光镜光阑、物镜光阑和选区光阑，分别用于控制会聚在试样表面的电子束大小和选择用于成像的电子束。 电磁透镜光阑是由Pt或Mo做成的、中心为可变圆孔的金属圆盘，或者是具有一系列不同