第五节 激光测量.doc

第五章 激光测量 激光 Leaser 这英文名词是由几个单词缩写而成，其意思是激发辐射光放大。激光是一种能量密度高、方向性强、单色性好的相干光。激光工作原理是，当激光工作物质，也称可激活物质( 如红宝石、钕玻璃氦氖气体等具有亚稳态能级结构的物质)受到光泵( 脉冲激励光源 )的激发后 , 便产生受激辐射跃迁 , 形成光放大 , 再经过由全反射镜和部分反射镜组成的谐振腔产生振荡后 , 成为单向平行光束 , 由腔的一端输出激光束。 5. 1激光干涉仪测量长度 由于激光具有良好的方向性、单色性和相干性等优点，采用激光器作为光源，以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉原理实现大尺寸的精密测量是目前大尺寸测量中比较理想的方法。以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。f0)有所不同。这种现象称为光的多普勒效应。设光源固定不动，接收装置以速度v趋向于光源，即接收装置迎着光波的传播方向移动，则相当于光波以 c + v射向接收装置,c为光波的传播速度。因此，单位时间内到达接收装置的光波数(即频率f)等于： 因为 1/T = f0 所以 即接收装置的频率等于光源频率的倍。当接收装置以同样的速度远离光源时，运动的速度v规定为负，上式关系仍然成立。 （2）双频激光干涉测长仪的工作原理 图5-2为双频激光干涉仪的光学系统。将氦氖激光器 l置于一轴向磁场之中，由于塞曼效应的作用，使激光谱线分为两个幅值相同、方向相反的左、右旋圆偏振光。又由于频率牵引的作用，使这两支光的频率f1和f2相差不大，一般为1.5 MHz左右，处在激光的可“拍”频差之内。良好的干涉性能是激光优于普通光源的特点之一，对于激光而言，即使是两支频率有差异的光束也能较好地产生干涉，通常我们把这种激光独有的特殊干涉现象称之为“拍”。这两支频率分别为f1 、f2的圆偏振光，通过 λ／4波片2之后，形成两个振动方向互相垂直的线偏振光(设f1平行于纸面，f2垂直于纸面)。它们经准直系统3扩束后，在分光镜4上被分为两部分：一小部分作为参考光束被反射，经45?放置的检偏器产生拍频为(f1—f2)的“拍”。该信号由光电管6接收并转换为电信号，进入前置放大器7后送计算机处理。另一大部分光透过分光镜4，沿原方向射向偏振分光镜8。互相垂直的频率为f1和 f2的偏振光，在分光面上分别被反射和透射至参考镜9和测量镜10，然后再返射回并在分光面处汇合。其中，由测量镜返回的偏振光由于多普勒效应，频率变为f = f1十 Δf，其中Δf =，v为测量镜移动速度。这两支光汇合后，经棱镜11反射到45?放置的检偏器12产生“拍”，信号由光电管接收，经前置放大器14后，送计算机处理。 图5-2 双频激光干涉测长仪光路 计算机将两路信号进行同步相减，得出多普勒频差Δf。 在时间 t内与被测长度对应的多普勒频差为 由于 、 则 故被测长度L为 双频激光干涉仪以交变信号作为参考信号，可避免零点漂移，有较强的抗干扰能力，可在现场使用。测量长度可达60m左右。此外，如配以简单的附件，还可对角度、直线度等进行测量。双频激光干涉仪的最小分辨率为0.08?m，最大位移速度为300mm／s，其测量精度已达到1×10-7L (L为被测量的长度)。 5. 2 雷尼绍激光干涉仪ML10 Gold雷尼绍激光干涉仪ML10 Gold可提供线性测量精度为± 0 . 7μ m / m 和分辨率为 0 . 001μ m 的超精度测量和校准能力。ML10 Gold测量质量、性能稳定并适用于多种环境。雷尼绍采用激光干涉原理，包括线性、角度和直线度的测量。因此ML10 Gold使用干涉原理所提供的测量采用国际上光线的波长为长度标准。ML10 Gold使用分离的干涉镜，而不与激光头安装在一起通过提高激光源的稳定性和环境误差补偿。ML10 Gold提高测量精度和稳定性，并克服了与标准条件不同的多变环境（气温、气压、湿度）这些变化可引起的不确定度。????ML10 Gold的激光稳频精度达到±0 . 05μ m / m同时使用非常精确的环境补偿传感器来采集数据，通过EC10环境补偿单元对“原始”测量结果进行修正。雷尼绍RENISHAW 直线位移：０－４０ｍ（范围），准确度±ｐｐｍ±０.０２５μｍ直线速度：范围±０.３５ｍ/ｓ，准确度±０.０５％（ｐｐｍ＝ｌｐａｔｈ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ） 激光干涉仪检测系统，为机械制造业提供测量检测系统，用于机床及三坐标测量机的精度检测.该系统0.7ppm(百万分之一)精度提供了其它系统不可比拟的,并