材料科学分析技术透射电子显微分析-结构.ppt

* 控制电子束的运动在电子光学领域中主要使用电磁透镜装置。但电磁透镜在成像时会产生像差。 像差分为几何像差和色差两类。 几何像差：由于透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的像差。 色差：由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的像差。 * 透镜的实际分辨本领除了与衍射效应有关以外，还与透镜的像差有关。  光学透镜，已经可以采用凸透镜和凹透镜的组合等办法来矫正像差，使之对分辨本领的影响远远小于衍射效应的影响; 但电子透镜只有会聚透镜，没有发散透镜，所以至今还没有找到一种能矫正球差的办法。这样，像差对电子透镜分辨本领的限制就不容忽略了。 * 像差分:球差、像散、色差等，其中，球差是限制电子透镜分辨本领最主要的因素。球差的大小，可以用球差散射圆斑半径Rs和纵向球差ΔZs两个参量来衡量。前者是指在傍轴电子束形成的像平面(也称高斯像平面)上的散射圆斑的半径。后者是指傍轴电子束形成的像点和远轴电子束形成的像点间的纵向偏离距离。 * ΔZs * * 轴线上的物点，也不可避免地要产生球差。  计算表明，在球差范围内距高斯像平面3/4ΔZs处的散射圆斑的半径最小，只有Rs/4。习惯上称它为最小截面圆。 考察球差对分辨本领的影响。如果计算分辨本领所在的平面为高斯平面，就把Rs定为两个大小相同的球差散射圆斑能被分辩的最小中心距。这时在试样上相应的两个物点间距为：  Δrs=Rs/M=Csα3式中，Cs为电磁透镜的球差系数，α为电磁透镜的孔径半角。 * 如果计算分辨本领的平面为最小截面圆所在平面，则 Δr’s=1/4 Csα3  从以上两式可以得知Δr’s或Δrs与球差系数Cs成正比，与孔径半角的立方成正比。也就是说球差系数越大，由球差决定的分辨本领越差，随着α的增大，分辨本领也急剧地下降。 * 由球差和衍射所决定的电磁透镜的分辨本领r对孔径半角?的依赖性 * 像散：像散是由透镜磁场的非旋转对称而引起。 如果电磁透镜在制造过程中已经存在固有的像散，则可以通过引入一个强度和方位都可以调节的矫正磁场来进行补偿，这个能产生矫正磁场的装置称为消像散器。 * 色差：是由于入射电子波长（或能量）的非单一性造成。 色差 * 电磁透镜 * 电磁透镜的聚焦原理: 透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置是电磁透镜。电磁透镜实质是一个通电的短线圈，它能造成一种轴对称的分布磁场。正电荷在磁场中运动时，受到磁场的作用力，即洛仑磁力。下图为一种实际常用的带有铁壳以及极靴的电磁透镜示意图。 * * 提高加速电压，缩短电子波长，提高电镜分辨率； 加速电压越高，对试样的穿透能力越大，可放宽对样品的减薄要求。 如用更厚样品，更接近样品实际情况。 电子波长与可见光相比，相差105量级。 * * 由于衍射效应的作用，点光源在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮，周围带有明暗相间同心园环的园斑，即airy斑． 84％集中在中央亮斑上，其余由内向外顺次递减，分散在第1、第2 ??。一般将第一暗环半径定为airy斑的半径。 如果两个物点靠近，相应的两个airy斑也逐渐重叠．当斑中心间距等于airy 斑半径时，强度峰谷值相差19，人眼可以分辨，即rayleigh准则 * rayleigh准则： ? 当一点光源衍射图样的中央最亮处刚好和另一个点的第一个最暗处重合时，两衍射斑中心强度约为中央的80％，人眼刚可以分辨，这一条件称为rayleigh准则 此时的光点距离d0称为分辨率，可表达如下： * 于是，人们用很长时间寻找波长短，又能聚焦成像的光波。x射线和γ射线虽然波长短，但不能聚焦。 * 通电的短线圈就是一个简单的电磁透镜，它能造成一种轴对称不均匀分布的磁场。穿过线圈的电子在磁场的作用下将作圆锥螺旋近轴运动。而一束平行于主轴的入射电子通过电磁透镜时将被聚焦在主轴的某一点。 * 极靴就是电机磁极一个独特的结构 为了是均匀磁场分布的 * 透射电镜的显著特点是分辨本领高。目前世界上最先进的透射电镜的分辨本领已达到0.1nm,可用来直接观察原子像。 * * 1.5 透射电镜的结构及原理 透射电镜主要有电子光学系统(镜筒)、电源系统、真空系统和操作控制系统等四部分。 电源系统、真空系统和操作系统都是辅助系统。 * 电源系统包括电子枪高压电源、透镜电源和控制线路电源等。 真空系统用来维持镜筒(凡是电子运行的空间)的真空度在10-4 Torr以上，以确保电子枪电极间绝缘，防止成像电子在镜筒内受气体分子碰撞而改变运动轨迹，减小样品污染等。 * 基于对机械稳定