微传感器术复件 2014化学传感器.ppt

第九章 气、湿敏传感器 气体传感器的检测对象主要包括三个方面： （1）可燃性气体造成的火灾和爆炸； （2）有毒气体造成的中毒； （3）空气中的惰性气体含量过高造成的窒息。 每种气体有其独特的物理及化学特性，对于不同的气体需要不同的传感技术来测定。 由于气体的种类繁多，一种类型的气体传感器不可能检测所有的气体，通常只能检测某一种或两种特定性质的气体。例如，氧化物半导体气体传感器主要检测各种还原性气体，如CO、H2、C2H5OH（乙醇）、CH3OH （甲醇）等。固体电解质气体传感器主要用于检测无机气体，如O2、CO2、H2、SO2等。 第二节、可燃性气体传感器 ?烧结型器件电阻与检测气体浓度有关系。敏感体可以对多种气体响应，但是在不同温度下对不同气体的灵敏度有很大差异。即，对于不同的气体，器件的最佳检测温度不同。例如，对于管道煤气（CH4），最佳检测温度为450~500°C，对于液化石油（C3H8）大约为300 °C，而250~300 °C则是检测酒精的最佳温度 。 ?厚膜型SnO2气敏器件是将粉状SnO2与添加剂混合后制成浆料，采用丝网印刷技术涂敷在氧化铝基片上烧制而成。它与烧结型器件没有本质上的区别，但是这种器件性能一致性好，利于批量生产。 ?薄膜型SnO2气敏器件是在绝缘衬底上采用蒸发、溅射或化学气相淀积（CVD）等方法制作SnO2敏感膜的。用这种方法制成的敏感膜颗粒很小，因此具有很高的灵敏度和响应速度。敏感膜的薄膜化有利于器件的集成化，是很有前途的一种半导体气敏器件。 （2）表面电阻控制型气体传感器的工作原理 表面电阻控制型气体传感器的工作原理建立在半导体表面理论基础上。在半导体表面，由于原子周期性排列的中断，表面处电子的能量状态发生变化，形成了表面态，相应的表面能级称为塔姆能级。由于塔姆能级的存在，导致能带在半导体表面的弯曲，形成表面空间电荷层。 SnO2等氧化物半导体气体传感器的敏感体不是单晶体，而是大量微小结晶颗粒的集合，晶粒之间存在着晶粒简界。由于晶粒之间晶轴倾斜角度不同，因而形成大量的位错。在位错处由于悬挂键及应力的存在，可以引起能带的弯曲，形成阻挡载流子运动的势垒。当某种待测气体接触时，如果晶粒间界处的势垒受到该气体的调制而变化，就会引起表面电导率的变化。利用这一原理就可获得这种气体存在的信息。 2、体电阻控制型气体传感器：材料?-FeO3、 TiO2等 3、气体传感器性能的改善 （1）利用贵金属的增感效应提高灵敏度（添加一定量） （2）表面修复技术与稳定性（敏感元件的涂层处理和二氧化锡颗粒表面的涂层处理） 其它气体传感器 定电位电解式传感器：一种湿式气体传感器，通过测定气体在某个确定电位电解时产生的电流测量气体浓度。 原电池式传感器：是一个两电极元件，其中一个是凝胶电极，无需电压或电流通过，氧气的存在会在电极之间产生电化学反应，产生的电流正比于氧浓度。专为测定氧浓度而设计的原电池式传感器，对其它气体没有交叉灵敏度，主要用于缺氧检测。 接触燃烧式传感器：当易燃气体接触这种被催化物覆盖的传感器表面时会发生氧化反应而燃烧。 热传导传感器：将加热后的铂电阻线圈置于目标气体中，由于向目标气体传送热量造成温度降低，引起电阻值变化，传感器即测量电阻值的变化情况。温度的变化情况是目标气体热传导率的函数。 红外传感器：通常用两束红外光进行气体测量，主光束通过测量元件内的目标气体，参考光束通过比较元件内的参考气体。在测量和比较元件中，红外射线被气体有选择地吸收。未吸收的红外光由光电探测器测量，产生一个正比于目标气体浓度的差分信号。 化学传感器在环境监控中的应用 1、用于水监测的传感器：光纤传感器、生物传感器 监测项目：酸碱度、温度、浊度、色度、溶解度、磷及磷酸盐、各类有毒化合物、氨基氮、硫化物、硝酸盐、有毒害金属离子、有机物、农药及油脂等40多项。 2、用于大气测量的传感器：CO监测仪、氮氧化物监测仪、硫化氢监测仪等。 第三节、湿度传感器 空气的湿度对工农业生产和人类的生活有着密切的关系。湿度有多种表示方法，例如绝对湿度、相对湿度、露（霜）点温度、比湿度、饱和点等。 绝对湿度表示单位体积的空气中所含水汽的质量，给出了水分在空间的具体含量；相对湿度给出了大气的潮湿程度。 半导体陶瓷湿度传感器：是一种电阻型传感器，根据微粒堆集体或多孔状陶瓷体的感湿材料吸附水分可使电导率改变这一原理检测湿度。 半导体湿敏陶瓷的电导率随湿度的增加而下降，称为负特性湿敏半导体陶瓷。 湿度是指大气中的水蒸气的含量。通常采用绝对湿度和相对湿度两种方法表示。 绝对湿度与相对湿度