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所用气体 大宗气体： 氢气 H2 氮气 N2 氩气 Ar 特气: 甲烷 CH4 三氟化氮 NF3 三甲基硼烷 TMB 硅烷 SiH4 磷烷 PH3 SiH4 .产品名称: 硅烷 分子式: SIH4 化学类别: 无机氢化物 TLV: 5ppm 应用： 沉积非晶硅膜层 1.物理性质 颜色 无色气体 嗅觉 厌恶的、刺激性的 分子量 32.117g/mol 熔点 -184.7℃ 沸点 -112 ℃ 临界温度 -3.4 ℃ 临界压力 48.43bar 气体密度 1.342kg/m3 相对气体密度 1.2（空气=1） SiH4  SiH4 SiH4 SiH4 5 存储要求 在通风良好的区域存储钢瓶 与氧气或其他氧化性气体钢瓶分开存放 钢瓶应直立摆放，防止倒塌 当钢瓶不再使用时，瓶帽应盖好 钢瓶存储区禁止吸烟，明火等 采用先进先出的储存系统，将空瓶与满瓶分开存放 钢瓶存储不要高于50C°以上的区域 PH3 .产品名称: 磷烷 别名：磷化氢、磷化三氢 分子式: PH3 TLV: 0.3ppm 应用：N层掺杂 1. 物理性质： 颜色： 无色液化气体 嗅觉： 腐臭鱼味 分子量： 33.988g/mol 熔点： -133.8°C 沸点： -87.7°C 临界温度： 51.6°C 临界压力： 65.36bar 气体密度： 1.405kg/mol 相对气体密度： 1.184（空气=1） PH3 2 .危害概述 危险! 有一定压力的有毒可燃液化气体 吸入：有毒 、吸入可能致命 气体接触到空气会自燃 ，与空气接触能形成爆炸性混合物 营救人员需用自给式呼吸器 吸入常见的症状包括：刺激呼吸系统和肺, 胸腔疼痛, 呼吸困难, 疲劳, 头 疼, 腹部疼痛, 头晕, 呕吐, 腹泻, 昏昏欲睡, 头昏眼花, 蹒跚, 痉挛, 和虚脱. 从暴露到出现症状的时间间隔取绝于气体的浓度和暴露的时 皮肤接触: 无不良影响---液体可能导致严重灼伤 眼睛接触: 无不良影响 PH3 3. 急救措施 吸入: 立即移到空气清新处 若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困 难，有资格的人员来给氧 即使无明显症状，立即就医 皮肤接触: 用热水冲洗皮肤(40oC) – 脱下污衣. 就医 眼睛接触: 提起眼睑，立即用大量净水冲洗 至少维持 15分钟，就医 医生须知: 磷烷对肺部有强烈的刺激作用; 会产生肺气肿.磷烷中毒后，症状在数小时内出现。 没有专门的解毒剂，长期暴露因根据症状情况就医 PH3 灭火措施 爆炸下限: 1.2% v/v 爆炸上限: