第8章微加工技术.ppt

电子束加工特点 束径小，能量密度高，能微细聚焦（0.01?m），适合于加工深孔、细深孔、窄缝。 热影响范围小，适合于硬、脆、软、韧金属和非金属材料、热敏材料、半导体材料、易氧化材料等加工。原则上各种材料均能加工，特别适用于加工特硬、难熔金属和非金属材料。 加工速度快，效率高。非接触加工，无工具损耗；无切削力，加工时间极短，控制性能好，易于实现自动化。 可用于打孔、切槽、焊接、光刻、表面改性。 在真空中加工，无氧化，特别适于加工高纯度半导体材料和易氧化的金属及合金。 加工设备较复杂，投资较大。多用于微细加工 离子束加工 离子束利用力效应加工 离子质量远远大于电子，加速较慢，但一旦加速后，具有远远高于电子的能量。 质量大、动能高的离子冲击工件表面，将产生弹性碰撞，将能量传递给工件的原子和分子，使原子和分子产生溅射，被抛出工件表面。 离子束穿透能力强，被加工表层几乎不产生热量，不引起机械应力和损伤。 将被加速的离子聚焦成细束，射到被加工表面上。被加工表面受“轰击”后，打出原子或分子，实现分子级去除加工。 离子束溅射去除加工 惰性气体入口 阴极 中间电极 电磁线圈 阳极 控制电极 绝缘子 引出电极 离子束 聚焦装置 摆动装置 工件 三坐标工作台 离子束去除加工装置 离子束溅射镀膜加工 用加速的离子从靶材上打出原子或分子，并将这些原子或分子附着到工件上，形成“镀膜”。 溅射镀膜可镀金属，也可镀非金属。 由于溅射出来的原子和分子有相当大的动能，故镀膜附着力极强（与蒸镀、电镀相比）。 离子镀氮化钛，即美观，又耐磨。应用在刀具上可提高寿命1-2倍。 离子束源 靶 溅射材料 溅射粒子 工件 真空 离子束溅射镀膜加工 离子束加 工装置 离子源 真空系统 控制系统 电源系统 离子束加工特点 是一种以原子、分子为加工单位的加工方法。 加工精度和表面质量高，可达纳米级。 可对各种材料进行加工。 控制性能好，易于实现自动化。 应用广泛，如：粒子束溅射去除加工、粒子束溅射镀膜加工、离子束注入加工等。 用高能离子轰击工件表面，离子打入工件表层，其电荷被中和，并留在工件中（置换原子或填隙原子），从而改变工件材料和性质。 可用于半导体掺杂（在单晶硅内注入磷或硼等杂质，用于晶体管、集成电路、太阳能电池制作），金属材料改性等方面。 用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。 离子束溅射注入加工 激光束加工 激光束利用热效应加工 激光光斑大小可聚焦到微米级。 激光束照射工件，光能被吸收，转化为热能，产生瞬时高温、局部熔化、汽化。 激光束加工是非接触加工，没有力的作用，没有工具，加工速度快。 与电子束和离子束加工比较，激光加工装置简单，无需真空系统。 激光是一种受激辐射而得到的加强光。其基本特征： ◎ 强度高，亮度大 ◎ 波长频率确定，单色性好 ◎ 相干性好，相干长度长 ◎ 方向性好，几乎是一束平行光 激光加工工作原理 当激光束照射到工件表面时，光能被吸收，转化成热能，使照射斑点处温度迅速升高、熔化、气化而形成小坑，由于热扩散，使斑点周围金属熔化，小坑内金属蒸气迅速膨胀，产生微型爆炸，将熔融物高速喷出并产生一个方向性很强的反冲击波，于是在被加工表面上打出一个上大下小的孔。 激光器 工件 工作台 激光加工原理图 光阑 反射镜 聚焦镜 电源 激光束加 工装置 激光器 电源 光学系统 机械系统 激光焊接车身 激光切割 激光束加工特点 加工精度高，激光光斑直径可达1?m一下。 加工材料范围广，可对各种材料进行加工。 速度快、效率高。 控制性能好，易于实现自动化。 应用广泛，如：激光打孔、激光切割、激光微调、激光表面改型、激光存贮、激光测量、激光焊接、激光热处理等。 加工材料范围广，适用于加工各种金属