刻蚀机操作规程.docVIP

一、PLC自动控制操作说明 1.1功能键说明 在控制面板上有12个功能键， Esc、Enter、Shift、4个方向键（Up/Pg Up、Down/Pg Dn、Left、Right）、5个复合键F0/F5、F1/F5、F2/F7、F3/F8、F4/F9。选F0-F4直接按复合键即可，选F5-F9需按住Shift键。 1.2 参数设置 设备上电后，显示初始界面。在该界面下，通过DELTA TP40 显示器的功能键F1进入设置选项界面，实现相关参数的设置，通过功能键F2进入手动操作界面，通过手动界面的功能键实现对设备的物手动设置及操作。 在参数设置选项界面，可以看到参数设置选项包括：PID参数、时间参数、工艺参数、压力偏差和开度参数。界面上提示有功能键与工艺参数对应关系。 1）PID参数设置界面 等离子体刻蚀机的压力控制是通过PLC内部PID控制器与电子执行器配合实现压力的闭环自动控制。在PID参数设置界面下，通过功能键F4~F9实现PID参数的设置。设置方法：按住SHIFT键后，再按F6~F9功能键，进入相应的参数进行设置。用LEFT键或者RIGHT键选择数字设置位，使用UP/PGUP 键或PGDN/DOWN键改变选择位的数值，设置界面有相应参数的最大值和最小值规定了该参数的取值范围。 T 采样时间 P 比例增益 DIR 控制方向，0表示不允许修改 I 积分增益 E 偏差量 D 微分增益 2）时间参数设置 在时间参数设置界面下，通过功能键F4~F9实现时间参数的设置。设置方法：按住SHIFT键后，再按F6~F9功能键，进入对应的参数进行设置。用LEFT键或RIGHT键选择数字设置位，使用UP/PGUP键或PGDN/DOWN键改变选择位的数值 3）工艺参数设置 在工艺参数设置界面下，通过功能键F6~F9实现工艺参数的设置。设置方法：按住SHIFT键后，再按F6~F9功能键，进入对应的参数进行设置。用LEFT键或RIGHT键选择数字设置位，用UP/PGUP键或PGDN/DOWN键改变选择位的数值。 4）压力偏差设置 在压力偏差设置界面下，通过功能键F9实现压力偏差参数的设置。压力偏差设置是在自动控制时，送气恒压要达到稳定值后，自动控制程序才会进行下一步操作。压力偏差设置值是表示，送气恒压力到压力稳定后，压力设置值与实际压力值的偏差。实际偏差低于压力偏差设置值时，自动控制程序在送气恒压稳定后进行下一步操作，否则报警。 压力偏差设置方法：按住SHIFT键后，再按F9功能键，进入参数进行设置。用LEFT键或RIGHT键选择数字设置位，使用UP/PGUP键或PGDN/DOWN键改变选择位的数值。 5）开度设置界面 在开度设置界面下，通过功能键F8~F9实现开度参数的设置。开度设置是对电子执行器的打开角度的控制方式进行设置。开度设置界面实现对开度控制方式及手动控制开度时，开度值的设置。开度控制分自动控制和手动控制方式，自动控制时，由系统设置好的PID参数进行自动调节；选择手动控制方式，电子执行器的开度将由开度设置界面所设置的手动开度值决定。 开度设置界面操作方法：按住SHIFT键后，再按F8~F9功能键，进入相应的参数进行设置。用LEFT键或者RIGHT键选择数字设置位，使用UP/PGUP键或PGDN/DOWN键改变选择的数值。 1.3 手动操作 在设备上电状态下手动开机械泵，将控制方式旋钮置于“自动”位，在初始界面下，通过DELTA TP40显示器的功能键F2进入手动操作界面，使用手动界面的相应功能键实现对设备的手动设置及操作。 使用PgDn/Down键可以实现在手动操作界面的手动参数显示界面之间的切换。 二、调试程序 1.整机安装完成后，将控制开关全部复位，旋转开关置于中间位置 2.和上控制柜断路开关，按下电源开关，此时整机上电，压力控制器、电源开关和“机械泵关”有指示 3.点动“机械泵开”按钮，注意机械泵旋转方向与标记方向一致 4.确认机械泵无异常后，将旋转开关旋至手动，开机械泵和预抽阀，2分钟后显示屏的压力数值有变化，当反应室压力低于600Pa时，关预抽开主抽，3分钟后反应室压力小于10Pa，如达不到该值，应检查各管路接头，或者是调整薄膜规的零点 5.检查各阀门工作状态，确认无异常后，准备进行工艺调试 6.将射频电源打开，使之预热5分钟，并将功率旋钮旋到底 7. 将旋钮开关打倒自动，从显示屏进入手动状态（注意：运行按钮为关状态），设置工艺压力、气体流量及送气阀和主抽阀。 8.当电压稳定后，按下射频电源的“高压开”按钮，将功率旋钮顺时针缓慢转动，使输出功率达到100W，这时反应室将产生辉光