第6章压电式与压磁式传感器.ppt

* * 压电器件 受力、表面形变 电荷 第一节 压电式传感器 一、 压电效应与压电材料 1、压电效应 正（顺）压电效应 2、逆压电效应（电致伸缩） 压电介质 正压电效应 Q(E) 电能 T(S) 机械能 逆压电效应 二、压电材料简介 压电常数 弹性常数（刚度） 介电常数 机电耦合系数 电阻 居里点 压电效应强弱：灵敏度 固有频率、动态特性 固有电容、频率下限 机电转换效率 泄漏电荷、改善低频特性 丧失压电性的温度 常用压电材料 （1）压电晶体 天然、人造石英晶体。 （2）压电陶瓷 钛酸钡、锆钛酸铅、铌酸盐系等压电陶瓷。 三、石英晶体的压电特性 居里点573℃，六角晶系结构 光轴 电轴 机械轴 不受力时 x轴方向受力时 y轴方向受力时 x轴方向受力：压力 x轴方向受力：拉力 y轴方向受力：压力 y轴方向受力：拉力 三、压电陶瓷的压电现象 人造多晶体：经极化处理后的人工多晶铁电体 电畴 未极化前：不具压电性 撤销外电场 加外电场 E 对外不呈极性 加力F：放电现象 取消F：充电现象 机械能 电能 正压电效应： 压电常数 单位应力所产生的电荷密度 q——电荷密度，即单位面积的电荷； σ——应力，即单位面积的作用力； dij——压电常数。 压电常数有两个下标，下标i=1,2,3表示垂直x,y,z轴平面上产生电荷；下标j=1,2,3表示沿x,y,z轴方向受正应力，j=4,5,6表示在垂直x,y,z轴平面承受剪切应力。如d11表示沿x轴方向受力，在垂直x轴平面上产生电荷。 压电材料在受力状态下产生的电荷密度由下列方程组表示 压电常数用矩阵表示为 四、压电传感器等效电路和测量电路 1、压电晶片的连接方式 （1）并联： （2）串联： 2、压电传感器的等效电路 只适宜动态测量 压电晶片： 压电传感器： 压电传感器在实际测量系统中的等效电路 3、压电传感器的测量电路 前置放大器的作用： （1）放大 （2）阻抗转换 电压放大器 电荷放大器 （1）电压放大器 前置放大器输入端电压： 前置放大器输入端电压幅值： 输入电压与作用力间的相位差： 时间常数 输入电压与作用力间的相位差： 时间常数 适合测量高频交变力 由运算放大器构成的电压比例放大器 电压放大器具体电路 *