磁性薄膜的高频性能表征技术分析-analysis of characterization technology for high frequency properties of magnetic thin films.docxVIP

摘要随着磁存储行业近年来的迅速发展，市场对磁存储材料的记录速度要求越来 越高，这就将 MRAM 等超快磁记录器件的操作频率推到了 GHz 频段。在这个高 频段下，磁弛豫成为器件性能极为重要的一方面，人们对磁阻尼机理的深入研究 产生了兴趣，为了对磁化进动的转换进行最优化，磁性材料阻尼因子的具体系统 控制变得十分重要。因此研究材料高频动态磁化过程的表征技术有着重要意义。本文在对目前高频动态磁性能表征技术的发展状况的调研基础上，确立了使 用基于共面波导与矢量网络分析仪的新型铁磁共振测试作为表征手段，以建立宽 频带铁磁共振自动化测试系统为研究目的。研究的主要内容包括：（1）基于新型铁磁共振测试原理，完成了宽频带铁磁共振测试系统硬件组建， 其中核心内容是采用电磁仿真软件 HFSS 设计制作了适用于本系统的新型共面波 导测试夹具。经测试，夹具微波性能满足系统需求。（2）基于虚拟仪器技术，使用 LabVIEW 开发了自动测试软件，通过磁场自 动控制，矢量网络分析仪的自动设置与读取以及测试数据的自动化显示与存储三 大模块，实现了全自动铁磁共振测试。（3）研究分析了宽带铁磁共振测试的数据处理技术，建立了测试 S21 曲线与 铁磁共振曲线的关系。并使用 LabVIEW 编制了数据自动处理系统，其中集成了目 前广泛使用的相移洛伦兹拟合与 Fano 拟合，实现了一键调入数据得到铁磁共振线 宽与共振磁场。（4）在实际测试中，对比了两种拟合方法的拟合结果，分析了铁磁共振曲线 形状对拟合结果的影响，并指出 Fano 拟合具有更广的适用范围。在实际测试中，本文搭建的宽带铁磁共振测试系统精度较高，重复性好，而 且克服了传统铁磁共振测试频率限制的缺点，可在任意频率下测试得到铁磁共振 线宽，从而获取阻尼因子，为材料高频动态磁化提供了全面可靠的表征，是研究 磁化动力学的有力工具。关键词：动态磁化，铁磁共振，高频测试，LabVIEWABSTRACTWith the magnetic recording industry has developped rapidly in recent years, the market requires higher and higher recording speed from magnetic storage medium. This pushes the operating frequency of devices such as MRAM to GHz. The magnetic damping processes become very important in this frequency. In order to optimize precessional magnetization switching, a systematic control of the magnetic damping parameter is of utmost importance. Therefore, the characterization techniques for magnetization dynamics are of great importance.Firstly, the thesis introduces the development of characterization techniques for magnetization dynamics. Secondly, we determine the emphasis of research is to build broadband ferromagnetic resonance system based on coplanar waveguide and vector network analyzer. The main contents of research are as follows:Using multiple instruments to build broadband ferromagnetic resonance system, and designing new coplanar waveguide test fixture based on electromagnetic simulation software HFSS is the most challenging work.Designing automatic measurement software based on LabVIEW virtual instrument technology. Full-automation is realized by automatic co