磁微致动器的多能量域建模及数值模拟分析-multi - energy domain modeling and numerical simulation analysis of magnetic microactuator.docx

沪 $37720摘要微致动器 (Microactuator)是 MEMS实现物理功能的关键器件 F是 MEMS应用研究中的热点。在 IC 工业中，先进的 CAD 系统已有效地用于集成电路的设 计与仿真。但他们中的大部分却不适用于微致动器的设计。由于微致动器是复杂 的微机电系统，目前尚无成熟的微致动器多能量域建模和模拟仿真技术。对如何 在同一硅基片上进行能与硅微电子学材料和工艺兼容的各种动作形式和结构的 新型微致动器设计，尚缺乏有效的手段和方法。长期以来微致动器的设计不得不 通过直接制造原型的方法来验证设计。磁微致动器是一种用途极其广泛的典型电 一磁一机械的多能量域的集合器件，研究磁徽致动器的多能量域建模和数值模 拟，具有重要的理论意义和应用价值。本文的主要研究内容包括:第一章、综合国内、外有关文献，论述了 MEMS 技术的产生与发展:对微 致动器技术、微致动器的应用、微致动器的设计及其亟待解决的设计问题进行了 分析和评述:结合本课题研究的要求 F阐述了本文的研究思路和研究内容。第二章、分析了静电、电磁、压电和热等不同驱动原理的微致动器的结构特 点和应用场合，从致动效果和应用等角度比较了它们的优缺点:根据磁徽致动器 的应用需要?本文又进一步对不同磁微致动器的结构特点和应用进行了分析。提 出了两种典型的磁微致动器的物理结构:悬臂梁式磁微致动器和薄膜式磁微致动 器。第二章、论述了微平面线圈磁致动器建模的特点和现状:根据电磁场的基本理论 F 对基本物理模型的平面线固和磁体之间的作用关系进行了推导;研究了圆 形线固和矩形线圈产生磁场的区别:提出并建立了圆形平面线圈的电场产生磁场 以及对磁体作用力的数学模型。第四章、在基本数学模型的基础上?建立了悬臂梁式磁微致动器的电一磁一机械的多能量域数学模型:利用参数匹配分析的方法萝研究线圈和梁之间的问距 对线圈外径和磁力的影响;利用分析结果进行结构设计，并用有限元分析对不同 参数条件的致动器进行了数值模拟，研究了不同磁体参数对致动力的影响。第五章、在基本数学模型的基础上 F 建立了薄膜式磁微致动器的电-磁一机 械的多能量域数学模型:利用参数匹配分析的方法 F 研究线圈和膜之间的问距对 线窗外径和薄膜变形的影响;利用分析结果进行结构设计 F 并用有限元分析对不 同参数条件的致动器进行了数值模拟，研究薄膜和磁体参数对薄膜变形的影响。第六章、总结的本课题的主要研究结论，对磁微致动器的发展进行了展望。关键字 MEMS; 微致动器:多能量域建模:器件级仿真:有限元分析ABSTRACTMicroactuators 缸e critical parts for MEMS to fulfill the physical functions. 刀le research about microactuators is one of the hotspots in the MEMS research fields. In出e IC industry，advanced CAD systems have been used in the design and simulation.But most of these systems are not suitable for the microactuators design. Because microactuators are complicated microelectrimechanical systems，and no maturate technologies of multi-energy modeling and simulating for microactuators at present.There is short of means and methods to design new microactuators the structure and acting style ofthat must be compatiole wi由silicon electrics material and process. In a)ong period there have no good measures for the design of microactuators except for the prototype testing directly. Magnetic microactuator is a widely used and typicalmulti-energy (electrics ，magnet ，mechanics) integrated device. The researches aboutthe multi-ener