固结磨料研磨抛光垫基体的砂浆磨损特性分析-analysis of mortar wear characteristics of bonded abrasive polishing pad matrix.docxVIP
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固结磨料研磨抛光垫基体的砂浆磨损特性分析-analysis of mortar wear characteristics of bonded abrasive polishing pad matrix
承诺书本人声明:所呈交的硕士学位论文是本人在导师指导下进行的 研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方 外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含 为获得南京航空航天大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的 材料。本人授权南京航空航天大学可以将学位论文的全部或部分内容 编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段 保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本承诺书)作者签名: 日期: 摘要在化学机械研磨抛光(CMP)行业,固结磨料研磨抛光垫(FAP)由于诸多优势成为该领 域的研究热点,为了不断提高加工效率,改善加工效果,人们开展了关于 FAP 性能评价的研究。 本文利用砂浆磨损实验模拟真实加工环境下 FAP 树脂基体受废屑冲蚀磨损的情形,提出砂浆磨 损率评价指标表征树脂基体的砂浆磨损特性。主要完成的工作有:1、开展了砂浆磨损实验可行性分析。设计了砂浆磨损实验装置,提出砂浆磨损率评价指标 并解释了其含义及计算公式。采用格拉布斯判定法则对数据结果进行修正,利用重复性实验验 证结果的稳定性:同组别实验不同样片之间重复性误差小于 5%,而不同组别实验之间的相对 误差为 4.7%。2、基于 FLUENT 对砂浆流场进行了仿真。考察了磨粒种类、粒径、浓度及搅拌转速 4 方面 因素对于测试样片区域处流场的影响。结果显示:磨粒的运动速度随着磨粒粒径、磨粒密度以 及砂浆浓度的增大而减小,随着搅拌转速的增加而增大;磨粒粒径越小,磨粒密度越低,砂浆 浓度越小,搅拌速度越大,浓度分布越均匀。3、研究了实验条件对砂浆磨损特性的影响。通过正交实验考察了不同因素水平下样片的砂 浆磨损率,结果显示:砂浆磨损率随着搅拌转速、砂浆浓度以及砂浆温度的提高而提高,随着 磨粒密度和粒径的增加而呈现出非线性的变化。搅拌转速、磨粒的种类对于结果影响的显著性 最强,磨粒粒径、砂浆浓度对于结果影响的显著性次之,而砂浆温度及溶液的 PH 值影响的显 著性最小。4、研究树脂性能对于砂浆磨损特性的影响。考察了不同摆式硬度、溶胀率以及加入不同添 加料树脂基体的砂浆磨损特性,结果显示砂浆磨损率随着摆式硬度的增加而下降,随着溶胀率 的增加而增加,而添加青铜粉、SiC 可以增强树脂基体的耐冲蚀磨损性能,降低砂浆磨损率, 这种增强效果随着添加比例的增加而增加,同时青铜粉的增强效果要优于 SiC。5、探索了树脂基体砂浆磨损特性与自修整性的关系。向研磨液中添加不同比例的三乙醇胺, 考察相应条件下含铜粉亲水性固结磨料研磨垫的材料去除率,通过去除率的变化探索研磨垫的 自修整过程,结合砂浆磨损实验,研究了树脂砂浆磨损率与研磨垫自修整性能之间的关系。结 果表明:树脂基体砂浆磨损率越高,材料去除率幅值越高,同时材料去除率越稳定,自修整性 能也越好。关键词:固结磨料研磨抛光垫,性能评价,树脂基体,砂浆磨损率,自修整性.AbstractBecause of its many advantages, Fixed Abrasive Pad (FAP) becomes the focus in Chemical Mechanical Polishing (CMP) field. To achieve higher material removal rate (MRR) and better surface quality, performance evaluation about FAP is studied. In this paper, slurry abrasion experiment is carried out to study the real abrasion process of FAP’s polymer caused by the polished wastes. And slurry abrasion ratio is adopted to evaluate polymer’s abrasion characteristic. The main work is as follows:The feasibility analysis of experiment was carried out. The slurry abrasion equipment was designed, and the meaning and computational formula of slurry abrasion ratio was explained. Thestandard experiment time was set as 5 hours, with drying temperature 100℃ and drying time 18 hou
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