第六章 薄膜材料的表征方法.pptVIP

有机电致发光薄膜OLED：平板显示 氧化物半导体敏感薄膜 SnO2, TiO2, Fe3O4: 高灵敏度气体传感器 力敏、磁敏金属薄膜FeSiB：微压力、震动、力矩、速度、加速度传感器 光催化薄膜TiO2 ：环保材料 光学薄膜：智能建筑材料，装饰照明 宽禁带半导体薄膜GaN,ZnO,SiC：短波长器件、大功率CMOS 器件 超导薄膜 YBCO, MgB * 第六节 新型光电发射薄膜Ag-BaO Ag-BaO薄膜属于金属纳米粒子埋藏于半导体中构成的复合介质薄膜，具超快光电时间响应。 特点：可以经历暴露大气的过程，而在真空中恢复光电发射；在激光作用下的多光子光电发射使其可以应用于近红外波长的超短光脉冲检测中。 Ag-BaO薄膜可在一般的高真空系统中制备，如图。真空蒸发沉积的方法如下： （1）在高真空条件下（3×10-4Pa）在玻璃基底上淀积一定厚度的Ba膜； （2）通入压强为10Pa的氧气使Ba膜氧化成BaO薄膜； （3）恢复高真空度后，室温下蒸一定量的Ag，使基淀积在BaO薄膜中，然后加温280°C、退火20min； * 1，6-导轨 2-Ba源 3-样品管泡 4-正电极 5-Ag源7-机械泵 8-扩散泵 9-O2源 10-薄膜 11-负电极 （4）再蒸积少量超额Ba，提高薄膜的光电积分灵敏度；