半导体材料（大学课件）张源涛-课件-第三章补充.pdfVIP

第3章 晶体生长 第3章 晶体生长 硅片制备 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 晶片制备的基本工艺步骤 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 Silicon Wafer Processing Animation 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 我国集成电路用Si片的参考面国家标准 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 径向研磨、切片示意图 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 用于除去硅表面损伤和沾污的化学腐蚀 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 抛光（化学机械平坦化CMP） 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 硅片评估 物理尺寸 平整度 微粗糙度 氧含量 晶体缺陷 吸附颗粒 体电阻率 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 硅片制造厂的职业描述（技师、工程师和管理人员） 硅片制造技师（Wafer Fab Technician) ：负责操作硅 片制造设备。从事设备维护及工艺和设备的基本故障 查询； 设备技师(Equipment Technician)：查询故障并维护先 进设备系统正常运行； 设备工程师(Equipment Engineer) ：从事设备设计参 数和优化硅片生产的设备性能； 工艺技师(Process Technician)：查询工艺相关问题支 持生产设备和工艺工程组； 工艺工程师(Process Engineer)：分析制造工艺和设备 的性能以确定优化参数设置； 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 成品率/ 失效分析技师(Yield/Failure Analysis Technician) ： 从事与缺陷分析相关的工作，准备待 分析材料并操作分析设备以确定在硅片制造过程中问 题的根源； 成品率提高工程师(Yield Improvement Engineer)： 收集并分析成品率及测试数据以提高硅片制造性能； 设施技师： 设施工程师： 主管/ 经理(Supervisor/Manager) ：将技术技能和人 事管理技能结合在一起以达到公司的组织目标。 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 吉林大学电子科学与工程学院半导体材料 推荐图书 国外电子与通信教材系列 《半导体制造技术》电子工业出版社 “Semiconductor Manufacturing Technology” [美] Michael Quirk,Julian Serda著 中文版 韩郑生等译 介绍半导体制造相关的全部基础技术