微惯性技术发展现状与未来趋势课件.pptVIP

微惯性技术发展现状与未来趋势;传感器;微机电系统的尺寸;MEMS的特点;微惯性器件类别;微加速度计、微陀螺仪外观;; ;悬臂梁式加速度微传感器结构图;硅梁结构图;2.电容式加速度微传感器;三轴式电容式加速度微传感器;3.谐振式加速度传感器;4.隧道式加速度微传感器;5.伺服式加速度微传感器;微机电加速度计应用;4.安全防撞系统;MEMS在汽车中的应用;提高电梯车辆舒适性;1、 微机械陀螺仪基本概念;1.1 基本概念及组成;1.2 微机械陀螺特点;1.2 微机械陀螺特点;1.3 微机械陀螺分类;表面工艺制作的微结构;1.3 微机械陀螺分类;压电驱动;4、微机械陀螺发展概述;微机械陀螺国内外研究现状;;;;;;5、微机械陀螺应用;智能手机中;应用前景展望