声表面波温度传感器及其应用分析与开发-surface acoustic wave temperature sensor and its application analysis and development.docxVIP

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2018-08-01 发布于上海
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声表面波温度传感器及其应用分析与开发-surface acoustic wave temperature sensor and its application analysis and development.docx

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声表面波温度传感器及其应用分析与开发-surface acoustic wave temperature sensor and its application analysis and development

AbstractWirelesspassivesurfaceacousticwave(SAW)sensorisanewtypeofsensordevelopedinrecentyears,withexcellentpropertiesandpotentialapplications.Researchofthewirelesspassivesurfaceacousticwavesensorconsiststwoparts:oneissurfaceacousticwavechipfortemperaturesurvey,increasethetemperaturemeasurementaccuracyandreliability.Atthesametimestudytheantennaforimprovethetransmissiondistance.Theotherhand,studiestheapplicationofwirelesspassivesensors,suchashowhigh-voltagelinesforhigh-voltagesubstationtemperaturemeasurement,temperaturemeasurementofburiedcablesandsoon.Thisthesisfocusesonthedesignandfabricationofthesurfaceacousticwavechip.DescribethebasicstructureofthesurfaceacousticwavetemperaturesensorchipandtheInterdigitaltransducer(IDT)theory.IntroducetheInterdigitaltransducerfunctionmodel,includingthe??functionmodelandcouplemode(COM)theoreticalmodel.Paperintendstousethewindowfunctiondesigntoreducethesidelobe,improvechiptemperaturemeasurementprecision.Usingthecouplemodetheorytheoreticalmodelsimulationofthechip.Theresultswereverygood,andonthebasisofthechipstructuredesignwaschip.Introductionthesoftwarewhichcanmakethesurfaceacousticwavetemperaturesensorchiplithographyterritorymap,includingsoftwareandalgorithmdesignideas,softwareuserinterfaceanddetailedmethodofoperation.Softwarerealizethelayoutdrawingfunction,canaccuratelydrawupthephotolithographyterritory.Preparationoftemperaturemeasurementchipusingphotolithography,introducestheprocessofphotolithography,afterthecompletionofthepreparationofthischip,analyzethetestresultsindetail.Keywords:SurfaceacousticwaveSensorInterdigitaltransducerPhoto-lithographyEtching目录摘要..........................................................................................................IAbstract.......................................................................................................II1概论1.1声表面波技术简介............................................................................(1)1.2项目的背景及意义..........................................................