Q_320583 XGQY009-2013铝及铝基合金靶.pdf

Q/QYG 昆山全亚冠环保科技有限公司企业标准 Q/320583 XGQY009-2013 代替Q/320583 XGQY009-2010 铝及铝基合金靶 2013-06-15 发布 2013-07-15 实施 昆山全亚冠环保科技有限公司 发 布 前 言 本标准的编写，参照国家标准GB/T1.1 《标准化工作导则》的规定编写。 本标准由昆山全亚冠环保科技有限公司提出，品保中心归口。 本标准由昆山全亚冠环保科技有限公司研发部、品保中心负责起拟。 Q/320583 XGQY009-2013 本标准主要起草人 : 朱振华 、方家芳、蔡娜。 本标准于2010 年 7 月6 日起实施。 本标准所代替标准的历史发布情况为：——Q/320583 XGQY009-2010 铝靶及铝基合金靶 1、范围 本标准规定了铝靶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存和运输。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T6682 实验室用水规格 Q/320583 XGQY009-2013 GB/T10725 化学试剂 电感耦合高频等离子体原子发射光谱法通则 3 要求： 3.1 感官要求: 3.1.1 外观:光亮度均匀;光滑及清洁无污染，检测频度：3PCS/批。 3.2 尺寸:如图面编号上各部位(如长度、宽度、厚度/外径、内径、厚度)尺寸及公差要求；检测频度： 3PCS/批。 3.3 表面粗糙度Max6.3 μm或依客户要求；检测频度：1PCS/批 3.4 金相: 晶粒大小依客户要求；检测时机：新规格产品生产时、制程条件变更时、产品异常原因调查 时及客户有特别要求时。 3.5 成份含量要求如表1： 表1 主要成份wt% 杂质元素(Max)/ppm 规格 Al Cu Fe Mg Mn Si Zn V Total 2N7 铝 ≧99.7% 400 2500 300 300 2000 400 300 3000 主要成份wt% 杂质元素(Max)/ppm 规格 Al Si Fe Cu Zn Ti Total 3N 鋁 ≧99.9% 600 600 100 80 100 1000 主要成份wt% 杂质元素(Max)/ppm 规格 Al