电极化对犉犅犃犚应力负载效应影响的分析.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ４０ ３ Ｖｏｌ．４０Ｎｏ．３ 　 　 　 　 年 月 ２０１８ ６ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｊｕｎ．２０１８ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１８０３０３６６０４ 　　 电极化对犉犅犃犚应力负载效应影响的分析 ， ， ， １ ２ ３ １ ３ １ ４ 张大鹏 ，高 杨 ，王宇航 ，文数文 　 （ 西南科技大学 信息工程学院，四川 绵阳 ； 中国工程物理研究院 电子工程研究所，四川 绵阳 ； １． ６２１０１０２． ６２１９９９ ３．核探测与核电子学国家重点实验室（中国科学院高能物理研究所），北京 １０００４９； ４．重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室，重庆 ４０００４４） 摘 要：基于薄膜体声波谐振器（ ）的力学传感器有很大的应用潜力，但其应力负载效应的敏感机理尚不 ＦＢＡＲ 　　 　 明确。电极化效应可能是应力负载效应的敏感机理之一。为了研究电极化效应对谐振频率的影响，提出了电极化 效应的解析模型。首先根据在理想 ＦＢＡＲ中并联谐振频率与纵波声速的关系，推导出并联谐振频率关于压电层材 料参数的表达式；然后根据直流电压主要对 ＦＢＡＲ的弹性常数和厚度的影响，推导出并联谐振频率与直流电压的 关系；最后利用压电效应，得到了力载荷与并联谐振频率的关系。代入数值计算得到并联谐振频率的相对偏移量 为＋１．００３％ ４００Ｖ，对比测试结果，并联谐振频率的相对偏移量为＋０．９０％ ４００Ｖ，验证了模型的正确性。计 ＠ ＠ 算了力载荷为 １ｍＮ时，电极化效应导致谐振频率的偏移量约为 ０．５ｋＨｚ。对比实验测得的应力负载效应对谐振 频率的偏移量最低约为 ２６２ｋＨｚ，证明了在应力负载效应中，电极化效应对谐振频率偏移的影响可忽略。 关键词：微机电系统；力学传感器；薄膜体声波谐振器；应力负载效应；电极化效应；解析模型 中图分类号： ； ； 文献标识码： ： ／ ＴＮ３８４ＴＰ２１２．１ＴＢ５５２ Ａ 犇犗犐１０．１１９７７ ．ｉｓｓｎ．１００４２４７４．２０１８．０３．０１５ 　　 　　 ｊ 犃狀犪犾狊犻狊狅犳犈犳犳犲犮狋狅犳犆犺犪狉犲犘狅犾犪狉犻狕犪狋犻狅狀狅狀犛狋狉犲狊狊犾狅犪犱犈犳犳犲犮狋狅犳犉犅犃犚 狔 犵 ， ， ， １ ２３ １３ １４ ，