HitachiS-4800型电镜简易操作指南.ppt

光栅旋转Raster Rotation——R. Rotation(360°连续) 通过旋转电子束的扫描方向，实现对图像的旋转，样品台并没有旋转。 样品台倾转Tilt——T 样品台以其平面内的一个特定方向的直径为轴做倾转，是手动的。 样品台（俯视） 显示器 正方向倾转 正方向倾转 样品台倾转Tilt——T 倾转范围与样品台尺寸及高度z有关最大倾转范围：-5°~70°倾转操作之前必须计算当前条件下允许倾转的范围Tilt/Z calculation:设定样品台尺寸(加高压前设定）Priority Z:计算在给定的高度Z下样品台可以倾转的范围Priority T:计算在给定的倾转角度T下高度Z的允许范围倾转操作：手动调节 样品台倾转Tilt——T 倾转注意： a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见，不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °） b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调Z到8mm。 减速功能 本机附加减速功能，通过在样品表面施加与加速电压相反方向的电压，使到达样品表面的电子发生减速，抑制电荷积累现象，适合对不导电样品的高分辨率观察。 We are at your service! Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南 注意！ 本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内容，不能代替培训。有意自己操作扫描电镜的用户请到现场参加培训。 为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度，文件内容难于面面俱到。 欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！ S－4800 扫描电镜外观 S－4800 扫描电镜剖面图 S-4800主要技术参数 二次电子成像分辨率 1.0nm@15KV 放大倍数 20?～800000? 加速电压 0.1～30kV 样品台 三轴马达台 样品最大尺寸 ?100mm 扫描电镜使用时的安全注意事项 扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温、高压气流等危险因素，因此不正确的使用有可能造成人身伤亡。请您正确操作仪器，不要打开仪器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作的部分，即使您对自己的操作很有信心。未获得授权的用户请勿操作电镜。 请勿用扫描电镜观察磁性样品，磁性样品有可能给电镜造成严重伤害。 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况，请垂询技术员彭开武/闫晓英 （ Tel:。 S－4800扫描电镜的基本操作过程 启动操作程序PC－SEM 观察样品 加载样品 加高压及条件设定 调节电子光学系统 记录图像 SEM数据管理器 图像处理 取出样品 刻录光盘 结束操作 1、启动操作程序PC－SEM 打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－SEM自动启动，要求输入程序的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。 2、加载样品 1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托（15mm,1inch,1.5inch,2inch）； （2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在样品托上。 注意： (a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处理； (b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤干或用吹风机吹干后再插入样品室。 2、加载样品 2）将样品托装在样品架（specimen holder）上 （1）把样品托安装在样品架的顶端； （2）调整样品的高度，使得样品的上表面与样品高度计的下面尽量相平。 注意： (a)取放样品操作时必须带手套以减少污染； (b)必须使用样品高度计调节样品的高度，使WD与Z尽量保持一致，这样不仅操作性好，而且有利于保护仪器和样品。 (c)注意调节螺杆（adjusting screw）不要从样品架底座下面伸出来，这样会造成机械故障。 2、加载样品 3）将样品架插入样品室 插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不亮） (b)加速电压处于OFF状态 （1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品插入交换棒中； 2、加载样品 （5）按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态，然后将交换棒完全拉出； （6）关闭交换室，按EVAC键，交换室抽真空； （7）峰鸣器响后，按OPEN键，打开样品室与交换室之间的门（气阀）； （8）峰鸣器响后，一边探视里面，一边将样品架充分地插入样品台的槽