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MEMS传感器发展与应用 　　[摘 要]对纳米技术的不断探索推进了MEMS传感器的发展，它比传统的传感器更加有优势，在以后的发展中也将会有很好的前景，各国家也纷纷加入了对其研发中。本文分析了MEMS传感器的技术特点，分析了当前的几种典型的传感器和应用，最后预测了MEMS传感器的发展前景。 　　[关键词]纳米技术；MEMS传感器；发展 　　中图分类号：TH-39；TP212 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2018）23-0393-01 　　随着MEMS技术的发展，MEMS传感器性能也在不断提升，并逐渐成为一些发达国家的战略性研究方向之一、MEMS传感器由于具备重量轻、体积小、灵敏度高、功耗低等优点，在很大程度上促进了其微型化、多个功能化、智能化、网络化的发展，正逐步占领传感器市场，并受到各领域的青睐。 　　一、MEMS技术特点 　　1.微型化：体积微小是MEMS件最为明显的特征，其芯片的尺度基木为纳米或微米级别。 　　2.多样化：MEMS的多样化主要表现在其工艺、应用领域以及材料等方面。 　　3.集成化：通过MEMS工艺，可以实现对功能、敏感方向不同的多个传感器的集成，形成微传感阵列或微系统。 　　4.尺度相应现象：因MEMS芯片尺度的缩小，对原有理论基础带来了较大影响，如力的尺寸效应、微摩擦学、微构造学、微热力学等，都需进行更加深入的研究。 　　5.批量化、MEMS器件与微电子芯片相似，可进行大批量生产且生产成本不高，有利于MEMS产品工业化规模经济的实现。 　　6.广义化：MEMS中的“机械”代表着所以能实现能量转化与传输功能的效应，而不是单一的机械力学内的机械，如力、热、光、生物、化学等。 　　二、当前的MEMS传感器和应用 　　（一）MEMS加速度计 　　MEMS加速度计，顾名思义，即是用来测量物体加速度的仪器，MEMS加速度计即为微型加速度计，同传统加速度计相比，其具有体积更小、质量更小的特点。根据测量原理，可分为压阻式微加速度计、电容式微加速度计、压电式微加速度计。 　　1.压阻式微加速度计 　　压阻效应：在一块半导体的某一轴向施加一定的应力时，其电阻率产生变化的现象。 　　工作原理：当外界有加速度输入时，由理论力学原理得知质量块会受到一个惯性力的作用，悬臂梁在此惯性力的作用下会发生形变，并导致与悬臂梁固连的压阻膜也发生形变，由压阻效应原理知压阻膜的电阻值会发生改变，进而压阻膜两端的电压值发生变化，从而可以通过实验得到一系列电压与作用的惯性力的关系，而作用的惯性力又与外界输入的加速度有关，从而便可以得到电压与加速度的关系，进而完成对加速度的测量。 　　优点：①原理结构简单，传感器制作容易。 　　②接口和内部电路容易实现。 　　缺点：①对于温度的变化十分敏感，会影响测量精度。②灵敏度比较低，不便于测量微小的加速度变化。③蠕变和迟滞效应比较明显。 　　2.电容式微加速度计 　　基本原理：由于电容的变化与两极板之间距离的变化有关，因此距离的变化可以通过电容的变化来测量，由电容变化得到位移变化，再进行微分运算便可完成加速度的测量。 　　工作原理：将质量块固连在基体上，并将电容式微加速度计电容的一个极板同运动的质量块固连，另一个极板则与固定的基体固连。当有加速度作用时，质量块发生位移，上下电容发生变化，可以得到电容变化差值，进而得到加速度。 　　优点：①灵敏度和测量精度高。②稳定性好。③温度漂移小。④功耗极低。⑤过载保护能力较强。 　　缺点：①读出电路复杂。②易受寄生电容影响和电磁干扰。 　　3.压电式微加速度计 　　压电效应：一些电介质在受到外界的作用而发生形变时，在电介质的内部会发生极化，与此同时，在该电解质的表面会由于极化现象的产生而出现正负相反的电荷，当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，而当作用在电介质表面的力的方向发生了改变，则极化出的电荷的极性也会发生改变，这种现象称为压电效应。 　　工作原理：在弹性梁上覆盖一层压电材料膜，当有外界加速度作用于质量块时，在惯性力的作用下，弹性梁会因受到外力而产生变形，由于压电效应原理知，器件结构的上电极和下电极间会产生电压，由此便可通过测量电压的变化确定数学模型转化公式，得到加速度的变化，进而完成对加速度的测量。 　　优点：①结构比较简单。②容易测量。 　　缺点：①很难测量常加速度。②温度系数较大。③器件的线性度不够好。④压电材料价格比较昂贵。 　　（二）微压力传感器 　　直到目前为止，微压力传感器仍然是各个领域内应用最为广泛，影响最为深远的微传感器。根据不同的分类方式，MEMS压力传感器可分为压阻式、电容式和谐振式等，同时也可分为圆形、方形、矩形和E形等。 　　航空航天器在飞行的过程中，由于外