纳米压痕试验方法研究.pdfVIP

复现性限 ， 表面粗糙度 压痕松弛 邺％ 接触刚度 ， 薄膜厚度 扩展不确定度 肿， 合成不确定度 ／ 表征锥形压头的形状的角度 。 压头几何因子 ， W,l。t／W。。的值 ％ 泊松比 ， 表格清单 表2-1仪器化压痕试验应用范围……………………………………………………………．5 表2—2常用静态压痕硬度测量方法比较………… 表2-3纳米压痕试验用压头 NanoIndenter 表3-1 XP纳米压痕仪参数…………………………………………………．2l 表3-2FLt一700显微维氏硬度计参数………………………………………………………．．23 表3-3样品使用情况…………………………………………………… 表4-1压痕深度为2000nm得到的压痕硬度、压痕模量值及其误差……………………．28 表4—2压痕深度为lOOnm得到的压痕硬度、压痕模量值及其误差………………………28 表4—3压头面积函数对试验结果的影响……………………………………………………31 表4-4不同卸载刚度曲线拟合的百分数计算的卸载压痕模量和压痕硬度值……………33 表4-5不同卸载刚度曲线拟合的百分数计算的卸载压痕模量和压痕硬度值……………34 表4—6STl样品最大压痕深度前30hm E一}b与E、H的关系…………………………36 表4—7JGl样品最大压痕深度前30hm E一}b与E、H的关系…………………………．38 表4—8间距对熔融石英样品压痕试验结果的影响…………………………………………40 表4—9间距对STl样品压痕试验结果的影响………………………………………………40 表5-1钢样品的化学成份结果／％………． 表5—2STl表面糨糙度结果 ／岫………………………………………………………．45 表5-3三件钢样品中的夹杂物级别评定结果………………………………………………45 表5—4试样显微组织及其组织级别评定结果………………………………………………46 表5-5显微硬度检验结果………… ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47 表5-6硬度值的结果数据 ．．．．．．．．．．…．．。．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49 表5—7tt”和删关系………………………． 表6-1安全因子表……………………………………………………………………………55 表6-2JGl样品化学成份结果 ／％×104…………………………………………………56 表6-3JGl表面粗糙度测试结果 ／p．m………． 表6—4纳米压痕试验参数……………………………………………． 表6-5JGl的压痕硬度和压痕模量………． 表6-6JGl压痕模量、压痕硬度均匀性…