电极检查及修复教学文稿.pptVIP

2、设备数量 XH线上： 电极图形检查机共两台，共通缺陷检查机（检查、 确认一体），电极全数检查机（检查、确认分开）。 电极缺陷确认机2台。 P-* P-* 3、数据传送 检查设备在进行检查时，可以同时进行缺陷图像拍摄，而拍摄的图像可以传送到review设备及主服务器。主要传送缺陷的坐标。 电极缺陷种类 电极制作中主要缺陷种类 OPEN、半OPEN 、小OPEN 、针孔 SHORT、电极突起 Ag浆料稀薄 Ag残留、丝网痕迹 异物 、纤维 线间Ag岛 　 P-* 缺陷图片 电极断路、针孔 P-* 缺陷图片 电极短路、突起 P-* 缺陷图片 电极稀薄、残留 P-* 缺陷图片 异物、纤维 P-* P-* 三、电极通断检查工艺 1、介绍 2、检查原理 3、工艺参数 C O C P-* 安徽鑫昊 安徽鑫昊 P-* P-* ADD电极检查及修复 制造部 2010年11月24日 机器视觉及其应用 相机按照不同标准可分为：标准分辨率数字相机和模拟相机等。要根据不同的实际应用场合选不同的相机和高分辨率相机:线扫描CCD和面阵CCD；单色相机和彩色相机。 图像采集卡图像采集卡只是完整的机器视觉系统的一个部件，但是它扮演一个非常重要的角色。图像采集卡直接决定了摄像头的接口：黑白、彩色、模拟、数字等等。 P-* 机器视觉及其应用 机器视觉目前在很多领域都有广泛的应用，如自动光学检查、人脸侦测、无人驾驶汽车等 四大功能：检查、测量、识别、定位 P-* P-* 目录 一、电极图形制作后检查修复目的及工艺流程 二、电极图形检查工艺、设备 三、缺陷类型、判断、处理办法 四、电极修复工艺、设备 五、电极通断检查工艺、设备 P-* 一、检查修复目的及工艺流程 1、检查修复目的 在PDP ADD电极的制作过程中，由于各种原因，往往会产生制作缺陷，而绝大部分缺陷是可以进行修复的。缺陷检查是进行缺陷修复的基本前提。准确、无遗漏的检出缺陷，为后期修复提供完备的检查数据，是对缺陷检查工序的基本要求。 自动光学检查是缺陷检查的一种方式。这种检查方式具有结果直观、灵敏度高、检查速度快、能够提供完备的缺陷情报等优点，是FPD制造领域广为采用的一种基本缺陷检查方法。 P-* 2、工艺流程 ADD印刷、干燥、曝光、显影 共通检查、线幅测量（抽样检测/抽检频次根据生产实际要求确定） 烧成 缺陷検査、判定、修正 、测量 通断检（NG屏回检查机检查、判定、修正、O/S） 各流程的作用 电极共通检查机和线宽测量机作用监视测量烧结 前印刷、曝光工艺制作效果，防止批次不良产生 减轻烧结后检查修复工作的压力。 烧结后检查修复为全部检查，对检出缺陷由人员进行判定、排除比较大的缺陷或者基板本身的缺陷直接判定面取报废外，原则上可以进行修复的基板都不做报废处理，将判定结果直接传到修正台，由修正人员修复。（量产时根据生产节拍，修正人员可以放弃缺陷比较多且不容易修正的基板，标准由技术人员制定）。 P-* P-* 二、电极图形检查工艺、设备 1、原理 周期性灰度值比对方法 灰度图像来说，灰度图像中只有黑白两色，纯黑色和纯白色之间存在着颜色过渡，一幅图像或是显示系统最多能表示的过渡区域的个数就是这幅图像或是显示系统的灰度等级。如256级灰度即表示此图像或显示系统纯黑至纯白共有256级过渡。 P-* 周期性灰度值比对 首先由CCD摄像机获取到基板表面的图像，再对表面图像进行取样，得到灰度的变化曲线（如下图）。从这个曲线中我们可以看到，总体上讲，灰度是呈周期性分布的，但是有些部分灰度值有异常，这些部分需要后期运算排查。 P-* 阈值排查 采用周期性灰度差值比对，运算出异常点的波形，这些异常点中包括缺 陷点，需要在后期的运算中进行排查。 首先采用阈值排查，即灰度差别超过某一阈值才判定为缺陷，否则忽 略。按照下图可知，中间两个异常点在此步骤中被排除。 P-* 缺陷大小排查 阈值排查后需要进行缺陷大小排查。对于检测到并经过阈值排查后的异常点，采用缺陷大小排查的方法，根据缺陷的面积大小对缺陷分类。对于缺陷小于缺陷设定值的异常点，排查时将其判定为正常点。 经过