2011年太阳能电池原理及工艺中常见问题讲义.ppt

对电池的影响 ● 光学减反射——提高Isc ● 表面钝化——提高Uoc * * 太阳能电池原理及工艺中常见问题 郭鹏 2011年3月2日 一 电池结构和工作原理 二 工艺原理和常见问题 Texture Diffusion PSG PECVD Printing Cofiring 1. Texture—— 制作绒面，增加光吸收 硅的原子结构——面心立方 单晶 严格长程有序 基本无位错，缺陷少，复合低 特定浓度碱溶液：各向异性—金字塔 多晶 长程无序，短程有序 大量位错，有晶界、缺陷，复合严重 酸溶液：各向同性—小蚯蚓状坑 水分子对羟基的屏蔽作用 Si+NaOH=NaSiO3+H2 Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2O slow 2NO2+H2O=HNO2+HNO3 Si+4HNO2=SiO2+4NO+2H2O fast SiO2+4HF=SiF4+2H2O 3SiO2+18HF=3H2SiF6+6H2O NaOH: 1% IPA: 8% 缓冲、释放H2 NaSiO3: 减缓、成核 ● 绒面对电池性能的影响 单晶：12% 多晶：20% 主要设备 捷佳创 瑞晶 四十八所 主要设备 Rena Schimid 库特勒 聚晶 ● 单晶制绒酸洗工艺流程 超声 清洗 DI 溢流 粗 抛 DI 溢流 制作 绒面 DI 溢流 DI 喷淋 氮气 烘干 HF 酸洗 DI 溢流 H