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IDF工序缺陷判断及质量数据分析 SYE QE 08.02.25 培训目的 ?了解IDF工序现阶段质量监控点、主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因 ?了解IDF工序主要质量数据和指标 ? 了解IDF工序质量数据分析、改善及效果评估 一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 纲要： 1、IDF工序现阶段主要质量监控点及监控参数； 2、流程查核 ； 一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 1、IDF工序现阶段主要质量监控点： 具体见附件 一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 2、主要参数及质量监控点： ※前处理：1、速度（2.0-2.7m/min ） 2、烘干温度（ 45-55℃ ） 3、微蚀量：0.8-1.6um ※贴膜：1、贴膜温度/压力（110±10℃、４－５kg/cm2） 2、预热温度（ 80±5℃ ）、贴膜速度：电镀板（2.0-2.５m/min），其它 （3.0-3.５m/min） 3、贴膜后静止时间（15--- 1440min ） ※曝光：1、曝光级数（干膜：7-8、湿膜：6.5-7.5、MASK2:4-5） 、 能量均匀性（10%）、真空度（ 25-30inHg） 2、曝光时间（≤15s） 、温湿度（ 20±1℃ 、46--54%RH）、 曝光后静止时间（15---1440min） 一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 ※湿油： 1、 速度（2.0-3.5m/min ） 2、油墨粘度（40-62sec） 3、膜厚：9-13um 4、洁净度：涂膜室1000 grade ※菲林制作及使用：1、菲林剖出至使用最小时间：4H 2、保护膜贴膜速度：1.5-2刻度 3、存放条件：温湿度（ 20±1℃ 、 46--54%RH） ） 一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 3、工序查核 （1）日常查核 （2）专项查核 二、IDF工序主要质量指标 纲要： 1、报废率 2、PONC 3、一次合格率 4、RTV 5、重点客户/型号 二、IDF工序主要质量指标 工序主要质量数据： 二、IDF工序主要质量指标 1、普通板及HDI板报废率： A、曝光房每周普通板报废率趋势： 二、IDF工序主要质量指标 曝光房每周普通板报废率趋势： ☆报废率是工序最重要的质量指标！ 二、IDF工序主要质量指标 B、DES每周普通板报废率趋势： 二、IDF工序主要质量指标 DES每周普通板报废率趋势： ☆报废率是工序最重要的质量指标！ 二、IDF工序主要质量指标 C、 AOI每周普通板报废率趋势： 二、IDF工序主要质量指标 AOI每周普通板报废率趋势： ☆报废率是工序最重要的质量指标！ 二、IDF工序主要质量指标 D、曝光房每周HDI报废率趋势： 二、IDF工序主要质量指标 曝光房每周HDI报废率趋势： ☆报废率是工序最重要的质量指标！ 二、IDF工序主要质量指标 E、DES每周HDI板报废率趋势： 二、IDF工序主要质量指标 DES每周HDI报废率趋势： ☆报废率是工序最重要的质量指标！ 二、IDF工序主要质量指标 F、 AOI每周HDI板报废率趋势： 二、IDF工序主要质量指标 AOI每周HDI报废率趋势： ☆报废率是工序最重要的质量指标！ 二、IDF工序主要质量指标 普通板主要缺陷柏拉图： 主要缺陷近期报废趋势： 二、IDF工序主要质量指标 2）、PONC值： ☆ PONC（Pr