硅微陀螺仪测控系统数字化技术研究.pdfVIP

第一章绪论 表面加王_工艺的微机械陀螺已经可以和微电子线路一起加工制造，采用SOl工艺等厚硅材料的技术也实现 了和微删nI--体化，其他的工艺也在朝着这方面发展。由于采用了微电子加工技术，因此能像 集成电路工业那样实现大批大量生产，极大地降低了单个传感器的生产成本，有利于推广使用。 (3)可靠性高。传统的陀螺仪一般有一个高速旋转的大质量体，相应有轴承等组件，是多个构件的 组成。而微机械陀螺仪从加工方面考虑，采用振动质量块的形式，整个结构是一体的，抗冲击能力强，有 的甚至能够承受1000009以上的冲击。硅微机械陀螺仪由于可以采用大批大量制造技术，体积小、成本低、 在应用系统设计时可采用冗余配置，从而提高可靠性。另外机械结构和微电子线路集成在一起，减少了外 界干扰的影响，提高了可靠性。 (4)功耗低。硅微机械陀螺仪体积小、重量轻，通常工作在真空状态下，其工作电流在104A量级， 一般功耗在pw—mw级，因此功耗是非常低的，非常适合于各种便携式设备或需要长时间进行野外工作 的设备。 微机械陀螺相对于传统的陀螺的最大优点就是微小，传统的陀螺主要是用在军事上．除了价格因数外， 体积过于庞大也是一个重要原因，微机械陀螺仪一些重要应用有微惯性测量单元，汽车安全防护，微型机 器人，虚拟现实，消费电子，心脏监视等。这些传感器一般都需要后续数字电路进一步处理，使得它们具 有一定的智能性，如果在传感器部分也采用数字技术，就能使整个系统更加紧凑，减小体积，降低成本， 从而使市场前景更加美好，另外陀螺仪数字化还有以下优点 (1)精度高。模拟系统的精度依赖于元器件参数的精度，与所用的材料、工艺很有关系。而数字系 统的功能实现是执行二进制数的数学运算来实现的，而二进制数的运算精度是由有效字长来决定的。17位 字长就可以达到104精度。系统可以轻易地把字长加到32位、“位。 (2)可靠性高。数字系统只有两个电平，抗干扰能力强。并且干扰不积累。 (3)系统通用性好。模拟系统参数由元件值一次固定，数字系统参数可以轻易改变。比如对于一个 陀螺系统进行数字滤波，只要改变一下参数，既可以作低通滤波，又可以作高通滤波，特别是对于极低频 的信号，模拟电路对电容电感的要求使它们的体积达到惊人的地步，而数字系统无此要求。 (4)可多路处理。微机械陀螺仪的一个主要用途就是组成MIMU，它通常要求三路陀螺信号和三路 加速度信号，使用同一套数字信号处理系统就可以对这么多路信号进行处理，不但减小了系统体积，而且 由于模拟环节大大减少，从而相互之间的耦合干扰也消除了，提高了整个系统的精度。 (5)实现虚拟陀螺比较方便。由于微机械陀螺可以大批大量生产，体积又非常小，因此可以在一个系统 中采用多个微机械陀螺来对同一个被测量进行测量，测得的值进行各种数字信号处理，最后提供给用户的 就是角速度的值，在这里，陀螺阵列和数字信号处理器作为一个整体被用户当作陀螺，单个的陀螺输出的 初始量不是直接的角速度量，但含有角速度信息。采用虚拟陀螺的形式可以提供高精度更加准确的的信息 和冗余备份能力。 由此可见，对微机械陀螺仪进行数字化研究是非常必要的，具有很大的实际意义。 1．3国内外研究现状 硅微惯性敏感器在国外已有20多年的研究历程，美国、日本及欧洲等主要发达国家均斥巨资予以开 加州大学伯 发研究，其研究水平也走在前列。20世纪80年代以来，美国的德雷珀(Draper)实验室、 度计等微型惯性仪表的研究，有的己形成产品，进而进行微型惯性测量组合的研究p71-[44。 1．3．1国外硅微机械陀螺仪的研究现状 东南太学博士学位论文 在微机械陀螺仪研究领域。溅无疑问美国处于领先地位，但其它国家也发展迅速，开发设计出了各种 形式的陀螺仪，主要有以下几种代表性的结构形式： (1)CSDL醚徽框黎式角搬动陀螺便 1988年，荚囡德雷珀实验黛首先研制出采用平板电容驱动的双框架式硅微型角振动陀螺仪H3I[“】，如 图I-I所示。它由内、外两个框架组成，其中外框用于驱动，内框用于敏感检测，角速率测爨范围为50～ 500。／s，室溢下偏嚣稳定牲为50廿／h。 圈1一lCSDL硅赣稚絮式角振魂陀螺役 强I-2CSDL音哭茂线强动陀螺便 (