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双光子加工数据准备软件研究 　　摘要:双光子加工技术需要通过数据准备软件将CAD模型转换为加工数据#65377;为此提出了三种进行双光子加工的数据准备方法,即STL处理#65380;图片处理和线条处理;基于MFC的单文档/视图结构框架开发了软件#65377;应用实例表明,该软件界面友好#65380;运行可靠#65377; 　　?す丶?词:双光子微细加工; 双光子微细光固化成型; 数据准备; 立体光刻文件; 二值图像 　　?ぶ型挤掷嗪?:TP391.73文献标志码:A 　　文章编号:1001-3695(2007)10-0243-03 　　?? 　　0引言?? 　　 　　双光子加工技术(又称two??photon microstereolithography)是近年来发展起来的基于双光子吸收光聚合机理的一种新的远场显微三维微细加工技术#65377;在加工过程中,计算机辅助设计的三维模型沿??Z向被分为一系列的X??Y??横截面,然后通过光束或工作台的扫描运动加工出三维模型;还可以通过使用一系列静止的或动态的光刻掩模来将模型投射入树脂中进行加工[1]#65377;?? 　　常规的使用紫外光的单光子微立体光刻技术可获得1~2 μm的横向分辨率和1~10 μm的单层厚度#65377;采用双光子加工技术则可以在数分钟内以亚微米的分辨率加工出形状复杂的三维微结构#65377;这是因为该技术依赖于两个光子的同时吸收,此现象可以把光聚合反应局限在焦点的中心区域#65377;目前,使用飞秒脉冲激光通过一个高数值孔径的物镜聚焦的双光子加工技术,可以获得横向最小尺寸仅为120 nm的结构元件[2]#65377;包括弹簧#65380;齿轮等微机械零件的多种器件已经由这项技术加工出来[3,4],如图1所示;还有的实验将这类器件装配成更复杂的装置并通过光陷捕获实现了运动[2,5]#65377;该技术的另一个重要应用是制造光学微结构[6~8]#65377;例如作为多种光学微装置基础的三维光子晶体,需要亚微米量级的结构元件来抑制光在近红外或可见波长区域的传播#65377;近来,双光子加工技术还被应用于实现无机―有机混合材料的聚合[9]#65377;某些研究使用以Si??O??Si链作为骨架并附以有机官能团的材料实现了双光子激发的交联反应[10]#65377;?? 　　通过软件技术将CAD模型转换为加工数据以完成数据准备,是双光子加工技术的必要环节#65377;然而作为一项新的加工技术,关于此类软件的开发,目前在文献中还难以见到#65377;本文研究了双光子加工的特点和现有的软件技术手段,提出了进行双光子加工的数据准备方法,并开发了双光子加工数据准备软件TPMPreparer 1.0#65377;?? 　　 　　1双光子加工及其数据准备?? 　　 　　双光子加工技术基于双光子吸收光聚合机理,其基本思想是以紧聚焦的飞秒激光照射光聚合树脂;在激光焦点处引发双光子吸收光聚合反应,按照一定的路径在三维空间扫描激光焦点,逐步得到固化的点#65380;线和三维结构;最后溶解掉未固化的树脂,就可以得到固化成型的三维器件#65377;?? 　　双光子加工相比常规的单光子微立体光刻技术,主要具有以下优点:?? 　　a)分辨率高,其分辨率可以超过光学衍射极限#65377;?? 　　b)在深度上加工范围大#65377;?? 　　c)加工时间短#65377;?? 　　d)柔性高,加工模型由计算机辅助设计,不会受到太严格的限制#65377;?? 　　本研究组的双光子加工实验系统如图2所示#65377;使用锁模钛蓝宝石激光器为激发光源,飞秒脉冲激光由光路系统进行滤光#65380;衰减#65380;扩束后,再经由一个大数值孔径的物镜进行聚焦#65377;放在光路中的光闸控制光路的通断#65377;反应材料为一种由聚氨酯丙烯酸酯单体/低聚物和光引发剂的混合物构成的光刻胶,放在可??XYZ??三维运动的压电微动工作台上#65377;CCD摄像机对焦点附近区域进行实时监测#65377;?? 　　双光子加工需通过数据准备将待加工模型沿??Z向离散为一个个截面;再在每个X??Y??截面上将图形按照一定的路径规划离散为一个个的点,生成数据文件#65377;微动工作台根据数据文件定义的运动轨迹逐层运动完成加工#65377;根据加工模型的特点,本文将双光子加工的数据准备分为三种类型:?? 　　a)STL处理#65377;对于一般的三维模型,本文采用由主流CAD软件(如SolidWorks#65380;Pro/E#65380;AutoCAD#65380;UG等)建模#65380;输出模型的STL文件再进行处理的方法#65377;选取STL格式作为CAD软件与数据准