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浅析机床误差测量与补偿 　　摘要 随着人们对加工精度要求的不断提高,微位移技术也随之产生。微进给机构是指行程小、灵敏度和精度高的机构,是精密机械和精密仪器的重要组成部分之一。本文对机床微位移机构误差的测量与补偿进行了探讨。 　　关键词 机床;误差;测量;补偿 　　中图分类号 TG64文献标识码 A 文章编号 1674-6708(2009)07-0024-02 　　超精密加工技术是从20 世纪60 年代发展起来的加工方法,其最大的特点是在综合应用机械发展的新成就(新型轴承、导轨、传动装置、微位移技术等)以及现代电子、测量、计算机等新技术的基础上大幅度提高机械加工的精度和水平,向机械加工精度的极限―纳米级水平挑战,目前它已成为机械加工技术发展的重要方向之一。 　　超精密加工技术作为高技术领域中的基础技术,不管是在军用工业,还是在国民经济建设中都发挥着重要的作用,是尖端技术产品开发中不可缺少的关键手???。同时,它又推动着半导体技术、光电技术、材料科学及测量技术等相关领域的发展。因此,超精密加工技术是一个国家科学技术发展的重要支撑技术,也是衡量一个国家科学技术水平的重要标志。 　　 　　1 机床主要误差 　　 　　传统的超精密机床的精度主要是靠机床的基准元部件的精度达到的,而继续提高机床部件的精度已十分困难,采用微量进给机构实现刀具的精确微小位移,并在加工过程中对加工误差作出相应补偿是保证零件尺寸加工精度、实现精密、超精密切削加工的必要手段。而利用电致伸缩陶瓷提高机床几何精度的过程中,由于电致伸缩陶瓷的基本特性,在加工过程中,精微进给和粗进给应分开,以提高微位移的精度、分辨率和稳定性。将对机床的导轨误差首先进行粗进给补偿,而后利用开环控制系统对整个加工过程进行精微进给补偿。导轨是机床上确定各机床部件相对位置关系的基准,也是机床运动的基准。车床导轨的精度要求主要有以下3个方面:在水平面内的直线度;在垂直面内的直线度;前后导轨的平行度(扭曲)卧式车床导轨在水平面内的直线度误差Δ1(图1)。将直接反映在被加工工件表面的法线方向(加工误差的敏感方向)上,对加工精度的影响最大。 　　卧式车床导轨在垂直面内的直线度误差Δ2(见图2)可引起被加工工件的形状误差和尺寸误差。但Δ2 对加工精度的影响要比Δ1小得多。由图可见,若因Δ2而使刀尖由a下降至b,不难推得工件半径R的变化量ΔR ≈ Δ 22/ D。若设Δ2=40mm,则ΔR=0.00025mm。由此可知,卧式车床导轨在垂直面内的直线度误差对工件加工精度的影响很小,可忽略不计。 　　图2 卧式车床导轨垂直面内直线度误差 　　对工件加工精度的影响 　　当前后导轨存在平行度误差(扭曲)时,刀架运动时会产生摆动,刀尖的运动轨迹是一条空间曲线,使工件产生形状误差。除了导轨本身的制造误差外,导轨的不均匀磨损和安装质量,也是造成导轨误差的重要因素。导轨经过一定时间使用以后,必然会产生一定的磨损,而导轨的磨损是机床精度下降的一个重要原因,因而实验时必须将其消除。 　　在实际的实验过程中,首先要消除导轨在水平面内的直线度误差,实现微进给系统的粗进给,但考虑到其它一些误差的影响,直接对导轨进行测量明显不够精确,因此,在这里我们采用测量小刀架运动过程中水平面内的直线度误差并进行误差分离,以便给补给做准备。 　　 　　2 用水平仪、自准直仪测量直线度 　　 　　直线度表示被测实际要素直的程度。直线度是一项控制直线(面与面的交线,平面内的直线,圆柱、圆锥体素线或轴线)的形状误差指标。直线度是指被测实际线对理想线的变动量,可分为给定平面内的直线对误差,给定方向的直线度误差和任意方向的直线度误差。 　　直线度误差的检测器具有:刀口尺、框式水平仪、合象水平仪、电子水平仪和自准直仪等。刀口尺用于检验短小工件的直线度误差,框式水平仪用于精度要求不太高的工件的测量,电子水平仪和自准直仪用于高精度工件的测量。对测量数据的处理有:两端点连线法、最小二乘法和最小区域法。它们之间有着各自的优缺点,总体来说可归纳为以下几点: 　　1)每种方法的计算法和作图法所得结果基本相同,相差甚微,差值乃作图,误差所致。 　　2)最小区域法所得结果的数值最小,两端点连线法所得结果最大,最小二乘法介于两者之间。直线度误差数值小时,三者差别甚小,直线度误差数值大时,三者差别较大。 　　3)两端点连线法简单方便,在生产中广泛应用。用该方法处理合格的零件,用其它方法必然合格。 　　4)有争议时,应以最小区域法进行裁决。 　　直线度误差通常用水平仪(分度值 0.02mm/m~0.05mm/m,即4′′~10′′)、合象水平仪(分度值 0.01mm/m,即2′′)、自准直仪(分度值为 0.005mm/m~0.001m