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显微镜物镜精密调焦装置研究 　　摘 要：文章阐述了将T-30的旋转超声电机作为显微镜物镜的精密调焦装置的驱动元件。此外，还对显微镜的精密调焦装置的相关工作机理以及机械结构组成做了简要分析，同时还设计制作了调焦装置的相关零件，并对其做了必要的有限元分析，得出了调焦装置应该具备的理论分辨率。当然，也对调焦装置做了必要的模拟实验，从而获知了基于驱动电压信号频率的调焦分辨率变化曲线和显微镜运动位移的T变化趋势。 　　关键词：显微镜物镜；精密调焦；装置；技术分析 　　中图分类号：TH742 文献标志码：A 文章编号：2095-2945（2017）35-0190-02 　　目前，由于科学技术和经济社会的发展，尤其是大部分的电子设备以及精密仪器等的发展，众多行业和领域对驱动元件的标准提出了更高的要求，所以很多时候要求提高到微米、纳米级的精度。特别是压电驱动器作为微驱动目前已经在显微镜物镜的定位和扫描系统方面得到了广泛、有效的应用。文章基于显微镜物镜的精密调焦方面，把TRUM-30型旋转超声电机当作显微镜物镜精密调焦装置的关键驱动元件进行简要分析。 　　1 显微镜物镜的调焦装置的相关结构与机理分析 　　1.1 显微镜物镜调焦装置构成的分析 　　本文介绍的调焦装置是将T-30型的旋转超声电机作为重要的关键驱动元件，并利用垫板等材料将其安装设置在显微镜的外框左端。输出轴安装在旋转超声电机的外伸轴位置，并利用螺纹将输出轴与楔块作配合。此外，楔块可以利用导轨进行运动，导轨也是安装在外框左端，并利用螺纹做固定。显微镜物镜可利用外框顶端的螺纹在下板进行安装即可，其中下板要安装于外框右段，须将一个钢球安装于下板的通孔和楔块斜面间。其中上板则是利用左侧螺纹孔在外框进行安装和固定，右侧则安装一个法兰。实际上一个完整的精密调焦装置就是利用法兰上端的螺纹在显微镜的转换器上进行准确安装的。 　　1.2 显微镜物镜调焦装置的运作的相关机理分析 　　调焦装置的楔形滑块机构可从图1清晰的了解。其中物体A的斜面倾角为？琢，倘若A顺着X轴的正方向进行X距离的位移，而由于B物体处于X方向的自由度被制约，所以它仅仅可以顺着Y轴正方向进行位移，倘若它的移动距离是y，根据三角原理，我们可以得知y/x等于tan？琢。所以，这个机构能够使得物体运动位移方向与大小发生一定的转换，而且还能够把物体A顺着X方向的运动转换为B在Y方向的运动位移y，而且y等于x×tanα。 　　文章所设计制作的显微镜物镜的精密调焦装置就是运用该原理，即得TRUM-30型旋转超声电机的向外输出位移方向以及大小实现必要的转换。 　　完整的调焦装置的详细工作过程是这样的：将驱动信号施加于TRUM-30超声电机，而超声电机的外伸轴旋转运行，这样就会使得安装在它上面的相关输出轴也旋转运行，从而输出扭矩。输出轴是利用螺纹传动来实现楔块在导轨的运动的，并且在凹槽中进行直线运动，并且楔块还利用斜面上的钢球来使得下板获得推力从而进行竖直且向上运动，那么显微镜物镜也会随着下板的运动进行竖直向上的运动。在这个完整的过程中，外框的右端由于与下板右端利用螺钉相互联结的，所以，外框的这个整体也将会通过4个柔性铰链进行竖直向上的运动，这样有效的确保了显微镜物镜也会做竖直向上的运动。而将超声电机输出轴的旋转方向做变动，就会使得显微镜物镜整体竖直向下的平动。 　　文章分析的精密调焦装置中的关键的楔块，其斜面呈？琢倾角，倘若超声电机的输出轴的旋转速度为n 转每秒，当进行物镜调焦的时候，调焦装置的通电时间s秒，而使得输出轴和楔块进行配合的螺纹距是S。 　　那么在一个工作周期循环内，电机利用输出轴使得楔块在水平方向发生的位移是：Sx=P*m*n （A） 　　而显微镜物镜在竖直向上的位移是： 　　Sy=P*m*n*tanα （B） 　　其中Sy就是显微镜物镜在一个工作周期内所发生的位移距离，这其实也就是这个精密调焦装置所具备的调焦分辨率。由公式 （A）和式（B）能够清晰地得出，这个精密调焦装置的调焦精度实际上是受驱动元件的超声电机的定位精度的影响的，如果这个超声电机定位的精度能够实现纳米级别的精度，那么，在理论分析上它所驱动的精密调焦装置也能够实现纳米级别的调焦分辨率。 　　2 显微镜物镜的调焦装置实验研究 　　2.1 显微镜物镜的调焦装置实验系统 　　对显微镜物镜的调焦装置样机进行实验的整体系统构成可清晰看出。在整个实验进行过程中，首先在功率放大器上连接信号发生器输出端，这样能够增强超声电机的输入电压值。利用功率放大器将从信号发生器输出的电压信号做放大处理后，再利用导线将电压施加于超声电机，从而使得精密调焦装置被驱动运行起来。其中激光位移传感器是用来对物镜镜头的位移进行的，而且经由激光位移传感器所测取的相关的位移