（毕业设计论文）《多矩形腔表面等离子体滤波器研究》.docVIP

·研究论文· 纵向多矩形腔表面等离子体滤波器研究 摘要：提出一种新型的纵向有多个矩形腔的表面等离子体滤波器，采用时域有限差分方法（FDTD）分别研究了单个腔、两个腔和三个腔的透射性质，发现单个腔中F-P共振导致了透射峰；在单个腔中间增加一层金属薄膜构成两个腔，原来单腔的透射峰出现劈裂或者消失，劈裂间距受结构参数变化影响；结合近场分布和理论分析，认为长短表面等离子体共振导致了劈裂。 关键词：表面等离子体；金属亚波长结构；滤波器； 中图分类号:O 438; O 436 文献标志码:A 引言 金属表面等离子体是由于光入射到金属表面时金属中的自由电子和光子的相互作用而形成的一种表面波，它能够将电磁场能量控制在亚波长范围内沿金属表面传播 [1-2]。金属表面等离子体克服了光学的衍射极限，使得在微纳米（亚波长）范围内的光学集成成为可能，这引起了研究者的极大兴趣。为了控制表面等离子体传输，研究者提出了许多金属表面等离子体的波导器件，如凹槽型波导[3]、金属耦合波导[4]、U型弯曲波导[5]等；而各种微纳米范围的各种功能器件的研究也迅速发展，如分束器[6]、定向耦合器[7]， Lerosey等人设计了一种表面等离子体单向控制器[8]，主要利用两个腔内非线性介质引入不同的相位，导致不同方向表面等离子体干涉相消或者加强。 另外，布拉格栅及类似的结构[9-10]具有滤波的功能相继被提出来，但这些结构的尺寸大且结构复杂。为了使结构简单，并实现窄带滤波，获得高的透射率或吸收率，先后有人提出了非对称的牙型等离子体滤波器[11]、MIM耦合腔型滤波器[12]，可谐调振幅和带宽的圆形腔滤波器[13]，还有红外吸收滤波器[14]。 本文提出一种金属层中由多个纵向矩形空腔构成的表面等离子体滤波器，采用时域有限差分方法（FDTD）研究了器件性质。分别考察了单个腔、两个腔和三个腔的透射性质。通过数值模拟，发现单个腔结构和多腔结构具有不同的透射特性，同时还研究了结构的几何参数对透射谱的影响，并给出理论解释。 1 计算模型 在本篇文章中，在模拟光波透射结构时，采用平面波光束作为光源，入射波为偏振的脉冲，其中心频率对应的波长，脉冲的频谱波段为至。金属层全部采用Drude模型[15-16]，金属的介电常数与频率的关系为： （1） 其中是金属的介电常数, 是入射波的频率，是真空中的电介质常数，是金属的等离子共振特征频率，而表示由于金属欧姆吸收损失导致的振动阻力系数。本文研究使用的金属层结构是银结构，相应的等离子体共振频率，损失系数。做透射谱归一化计算时，第一次放上结构，在结构后面狭缝处得到透射波的时间响应；第二次是没有结构，在狭缝处得到入射波的时间响应；对两次时间响应进行傅立叶变化后，就分别得到透射谱频和入射频谱，再用透射频谱与入射频谱之比就得到新的频谱，新频谱取平方后就得到零阶归一化透射谱。 2 模拟实验及理论分析 设计的金属结构如图1所示，灰色区域代表银金属，白色区域代表真空，其中图1(a)是在金属膜中有一个矩形腔的结构，其结构参数设置如下：金属层总厚度为，腔两边金属薄膜厚度为，中间矩形腔的长度为，宽度为。以薄膜的左边界中点为坐标原点建立坐标体系，沿宽度方向为坐标方向，沿长度方向为坐标方向，做数值模拟时，光沿轴的方向入射。 银真空 银 真空 (a) (b) 图 1 金属结构图 (a)单腔结构 (b)双腔结构 Fig 1 The Structure of cavity (a) single-cavity (b) double-cavities 当金属层的总厚度，宽度，和不变。改变腔两边金属薄膜的厚度，腔长相应为。分别模拟了，得到透射谱如图2所示。当，透射谱中有三个透射峰，波长分别为，，。随着腔两边的金属薄膜厚度的增加，发现透射峰发生了蓝移，而且透射谱中后两个透射峰的峰值明显减小，带宽相应变窄。 图 2 当金属膜总厚度，宽度时，改变腔两边金属薄膜的厚度对应的透射谱 Fig 2 When the total thickness of the metal film,the width, the transmission spectrum of the structral when changes the thickness of the metal films on both sides of the cavity 当时，通过模拟得到三个峰值波长对应的光波磁场近场分布如图3所示，图中虚线部分表示腔的金属边界，白的区域代表振幅强，黑的区域代表振幅弱。显然，在腔的纵向振幅呈现强弱的周期分布。认为光波在腔中形成