电容式微加速度计敏感元件中非理想因素的检测与研究-机械电子工程专业论文.docxVIP

I 摘要 摘 要 微加速度计的应用已经渗透到日常生活中的方方面面，大到航天、汽车、工 业设备，小到手机、游戏机中都能看到它的身影。叉指式微加速度计具有体积小、 成本低、线性度好等优点，是新兴传感器中的代表。随着 MEMS 技术的不断发展 微加速度计的性能也在不断提高但仍存在许多不足之处，为了满足航天航空等高 端领域的应用要求，需要不断的提高传感器的精度和稳定性。如何提高加速度计 的分辨率、灵敏度以及抑制零偏和漂移成为了微加速度计研究中的重点。 在理想情况下叉指式微加速度计被等效为一对初值相等的差分电容，它们的 电容差与输入的加速度线性相关。但是在设计和加工的过程中由于结构、工艺以 及封装的影响会导致一些非理想因素的产生，如有效梳齿电容失配、寄生电容、 接触电阻以及电容漏电等，它们的存在会对系统的噪声和零偏等关键性能产生不 可忽略的影响。因此，有必要对微加速度计中的各非理想因素进行研究分析。论 文主要研究成果包括： 1. 分析了叉指电容式微加速度计的检测原理并设计了相应的高性能开环检测电 路，为研究微加速度计系统中非理想因素的具体影响形式和影响程度提供了电 路模型基础。 2. 根据电路模型，理论分析了微加速度计敏感元件中各非理想因素产生的原因以 及它们对系统的具体影响形式，为研究提供了理论基础。 3. 针对不同的非理想因素设计了不同的检测方法，实现了各非理想因素的精确检 测，为精确量化各非理想因素的影响以及微加速度计的优化研究提供了数据基 础。 4. 根据实验数据建立了精确的微加速度计表芯等效电气模型，根据实际的模型参 数计算分析了各非理想因素度对开环微加速度计系统噪声性能、零偏性能的影 响，并进行了初步的噪声和零偏测试。最后文中还提出了相应的优化目标和优 化方案。 关键词：微加速度计，非理想因素，系统噪声，零偏 II ABSTRACT ABSTRACT Microaccelerometer have penetrated into our daily lives, its applications can be found from aerospace, automotive, industrial equipment, cell phones and game consoles. Due to the small size, low cost and good linearity, comb-type microaccelerometer become the representative of the new sensor. With the development of MEMS technology, the performance of microaccelerometer is improved, but there are still many shortcomings. In order to meet the requirements of aerospace and other high-end areas, measurement accuracy and stability of MEMS sensors should be continuous improvement. Therefore the improvement of the performances, such as resolution, bias, drift and sensitivity, has always been the focus of the microaccelerometer research. In an ideal condition microaccelerometer can be seen as a differential capacitance and the difference between the capacitance is linearly related to the input acceleration. However, the influence of structural, manufacture and package will result in some non-ideal factors in microaccelerometer, such as the initial mismatch of the effective capacitance, parasitic capacitance, contact resistance and capacitor leakage, non-ideal factors will produce a impact on the s