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KLA-Tencor Corporation
Operator’s Manual
MicroXAM-100
KLA-TENCOR CONFIDENTIAL-RESTRICTED DISTRIBUTION
Software Version 1.02
Manual Revision 2
April 2011
Copyright
Copyright ? 2010 and 2011 by KLA-TENCOR. All rights reserved worldwide.
No part of this publication may be reproduced, modified, transmitted, transcribed,
stored in retrieval systems, or translated into any human or computer language, in
any form or by any means, electronic, mechanical, magnetic, chemical, manual, or
otherwise, without the express written permission of KLA-TENCOR, One
Technology Drive, Milpitas, California 95035. KLA-TENCOR may revise this
document at any time without notice.
Trademarks
KLA-Tencor and the KLA-Tencor logo are registered trademarks of the KLA-
Tencor Corporation. All other brand and product names may be trademarks of their
respective companies.
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ii KLA-TENCOR Confidential – Restricted Distribution
License Agreement
The software described in this manual is furnished under a license agreement and
may be used or copied only in accordance with the terms of that
agreement. It is unlawful to copy the software except as specifically allowed in
the license agreement.
No part of this manual may be reproduced or transmitted by any means
without the express written permission of KLA-Tencor, Inc.
iii KLA-TENCOR Confidential – Restricted Distribution
Table of Contents
1 PRINCIPLES OF OPERATION 1-1
1.1 Coherence and Interference1-1
1.2 Interferometer Design1-6
1.3 Smooth Mode1-7
1.4 Texture Mode 1-10
2 SETTING UP THE SYSTEM 2-1
2.1 Unpacking2-1
2.2 Assembly2-2
2.2.1 Component Arrangement 2-2
2.2.2 MicroXAM Stage
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