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半导体物理课程教学的改革的探讨

半导体物理课程教学的改革的探讨   摘要:针对半导体物理课程教学中存在的主要问题,探讨基于电子科学与技术专业的知识结构与教学体系。根据半导体物理课程的特点,优化整合教学内容,丰富教学手段,结合科技前沿与研究热点,激发学生学习的积极性,有效提高课堂教学效果。   关键词:半导体物理;教学改革;教学效果   作者简介:刘德伟(1979-),男,河南濮阳人,郑州轻工业学院物理与电子工程学院,讲师;李涛(1977-),男,河南淮阳人,郑州轻工业学院物理与电子工程学院,讲师。(河南 郑州 450002)   中图分类号:G642.0 文献标识码:A 文章编号:1007-0079(2013)34-0085-02   半导体物理是半导体科学的理论基础,是电子科学与技术、微电子学等专业重要的专业基础课,其教学质量直接关系到后续课程的学习效果以及学生未来的就业和发展。然而,由于半导体物理的学科性很强,理论较为深奥,涉及知识点多,理论推导繁琐,学生在学习的过程中存在一定的难度。因此,授课教师必须在充分理解半导体物理,熟悉半导体工艺和集成电路设计的基础上,结合教学实际中存在的问题,优化整合教学内容,丰富教学手段,探索教学改革措施,培养学生的学习兴趣,提高半导体物理课程的教学质量。   一、半导体物理课程特点及教学中存在的主要问题   郑州轻工业学院采用的教材为刘恩科主编的《半导体物理学》(第七版,电子工业出版社),该教材是电子科学与技术类专业精品教材。[1]结合教材特点与教学实践,半导体物理课程教学过程中存在的主要问题与不足[2]可归纳如下:   1.教材内容知识点多,理论性强   半导体物理课程前五章为理论基础部分,主要讲述了半导体中的电子状态、杂质和缺陷能级、载流子的统计分布、半导体的导电性与非平衡载流子,在此基础上阐述了电子有效质量、费米能级、迁移率、非平衡载流子寿命等基本概念;分析了状态密度、分布函数、载流子浓度以及迁移率与杂质浓度、温度的关系。课程涉及理论知识较深,易混淆知识点较多,数学公式推导复杂,很多基本概念及数学公式要求学生掌握量子力学、固体物理、热力学统计物理和高等数学等多门基础学科的理论知识。因此,学生在前期学习中,在相关知识点上难以衔接,对相关理论的掌握存在一定困难。   2.传统教学模式难以理论联系实际   半导体物理课程后八章主要介绍了半导体基本器件的结构与性能,半导体的光、电、热、磁等基本性质。如pn结电流电压特性及电容、击穿电压与隧道效应、肖特基接触与欧姆接触;半导体表面与MIS结构、表面电场对pn结性能的影响;半导体异质结构及半导体激光器等。由于这部分内容主要阐述半导体的实际应用,仅仅从课本上学习相关知识,难以理论联系实际,对于没有接触过半导体制备工艺的学生而言,就会觉得内容枯燥,课堂乏味。   3.教材内容无法追踪科技前沿   现代半导体技术日新月异,发展迅速,例如在半导体照明、半导体激光器、探测器、太阳能电池等领域都获得了重大研究成果,研究领域不断拓展,新的理论不断涌现,与化学、医学、生物等学科之间的交叉和渗透越来越强,极大地丰富了半导体物理的教学内容。而半导体物理教材内容的更新相对较慢,因此,如何在有限的课时内既要讲授教材内容,又要穿插相关科技前沿是一个值得深入探讨的问题。   二、半导体物理课程教学改革措施   基于以上分析,半导体物理课程对授课教师要求较高,如何在有限的课堂教学过程中将大量的知识讲解清楚,需要教师积极探索新的教学模式,针对课程特点与教学现状,通过不断实践克服存在的问题与不足,采用多样化的教学手段,优化整合教学内容,狠抓教学环节,使学生较好地理解并掌握相关知识,为后续课程的学习打下良好的基础。[3]   1.优化整合教学内容   由于现代半导体技术发展极为迅速,研究方向不断拓展,相关知识更新较快。因此,授课教师应与时俱进,关注科技前沿与研究热点,合理安排教学内容。结合电子科学与技术专业其它课程的教学内容,在保持课程知识结构与整体系统性的同时,对教学内容进行合理取舍,压缩与其他课程重叠的内容,删除教材中相对陈旧的知识,密切跟踪科技前沿与研究热点,适当增加新的理论,补充重要的半导体技术发展史,激发学生的学习热情,培养学生的科学精神。例如压缩教材中第一章固体物理课程已经详细讲解过的能带理论内容,将授课时间由原来的8学时压缩至6学时;在讲解半导体光学特性时,结合半导体光电子学的研究前沿,增加该部分内容所涉及的研究领域与最新技术,如半导体超晶格、量子阱等方面的内容;在讲述MIS结构的C-V特性时,补充C-V特性的研究意义,介绍半导体表面特性对集成芯片性能的影响,鼓励学生查阅总结利用C-V特性研究半导体表面的方法;在讲授半导体元器件的结构及性能时,适当补充半导体器件的制

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