多晶硅电磁冷坩埚连续熔化与定向凝固技术基础研究-材料加工工程专业论文.docx

摘 摘 要 - - I - 摘 要 随着市场竞争的加剧及光伏行业本身的迅猛发展，低成本化已成为太阳能电 池发展的主要方向。冷坩埚连续熔铸技术由于其生产率高、对熔体无或少污染、 无坩埚损耗及所得铸锭组织性能比较均匀等优点，而逐渐被用于太阳能电池用多 晶硅锭的制备中。然而，在连续熔铸过程中，由于冷坩埚壁的激冷，往往造成晶 粒的斜向生长，因此，如何实现铸锭中晶粒的定向生长是推广利用该技术的关键 所在。本论文在国外冷坩埚连续熔铸多晶硅技术基础上，利用实验室的多功能电 磁冷坩埚电磁约束成形装置，优化制备了新型电磁冷坩埚，通过大量实验与理论 分析，进行了冷坩埚连续熔铸与定向凝固制备多晶硅的研究，获得了表面质量良 好，内部组织定向的多晶硅锭，并在此基础上进行了太阳能级多晶硅的冷坩埚连 续熔铸与定向凝固实验及其电学性能的测试与分析。 优化设计并制备了一个内腔尺寸为 60mm×60mm，适用于多晶硅连续熔铸与定 向凝固的方形冷坩埚。在空载条件下，利用小线圈法对坩埚内磁场强度分布进行 了测量与分析。磁场强度在线圈高度范围内较大，在线圈中上部取得最大值，而 后向两端递减，但在坩埚下部递减的趋势更为明显；随着加热功率的增大、线圈 安装位置的提高，磁场强度增大；在同一高度上，沿坩埚中轴线及对角线，由坩 埚壁往中心轴，磁场强度先逐渐减小，而后又在中心处略微上升。进行了多晶硅 启熔实验，研究了加热功率、底托初始位置、底料预置量与颗粒度对启熔效果的 影响，并进行热力学与动力学分析，解决了启熔过程中熔体飞溅的问题。 通过正交试验，研究了加热功率、抽拉速度及初始熔体保温时间对铸锭表面 质量及宏观组织的影响。多晶硅锭表面通常容易出现表面波纹、角部塌陷状褶皱 及未熔颗粒等缺陷，根据各表面缺陷的特征，分别揭示了其形成机制。理论分析 与实验结果表明，随着加热功率、抽拉速度及初始熔体保温时间的增大，表面质 量逐渐得以改善。冷坩埚连续熔铸多晶硅过程中，凝固界面通常呈中间上凸，两 侧上翘的形状，即 W 形。随着加热功率、抽拉速度的提高及初始熔体保温时间的 缩短，凝固界面由凸界面逐渐向平界面、凹界面过渡，且晶粒尺寸逐渐减小；随 着加热功率、抽拉速度及初始熔体保温时间的增大，铸锭表层凝壳层厚度减小。 通过对凝固界面中间最高点及两端最低点的传热分析，解释了工艺参数对宏观组 织的影响规律。另外，研究结果还表明，无论是表面质量还是宏观组织，加热功 率的影响最大，抽拉速度次之，初始熔体保温时间的影响最小。 哈尔滨工业大学工学博士学位论文 哈尔滨工业大学工学博士学位论文 - - II - 对定向凝固的铸锭进行了组织与杂质分布的测试与分析。结果表明铸锭宏观 组织由表层细晶区及中心粗大柱状晶区组成。组织内含有大量的位错缺陷，沿铸 锭纵向，中部与底部位错密度相差不大，为 1～2×106cm-2，而顶部较高；沿水平方 向，表层凝壳区位错密度比内部高。由于分凝效应，杂质偏聚于铸锭顶部，并析 出形成了各杂质元素组成的复杂相。利用连续熔铸过程中溶质的传输行为，建立 了杂质沿铸锭生长方向分布的模型，并结合实验结果进行了分析。沿铸锭生长方 向，各金属杂质及磷的含量逐渐升高，硼、氧变化不大，而碳含量是先降低而后 逐渐升高。研究结果还表明，除分凝外，真空内挥发对于 Al、Ca、P、O 等易挥发 杂质的分布有重要的影响。 利用优化的工艺参数，进行了 4N 与 6N 多晶硅的冷坩埚连续熔铸与定向凝固 实验，并对其组织与性能进行了测试与分析。两不同纯度多晶硅锭组织特征与冶 金硅基本相同。电学性能测试显示铸锭电阻率主要受杂质分布的影响，且Ⅲ、Ⅴ 族杂质元素影响更大。在 6N 多晶硅锭中，与工业实际应用多晶硅锭相比，其氧含 量较低，碳含量与电阻率基本相当，均控制在有效范围内，少子寿命高于原料（边 角料），接近于实际应用水平。 关键词：多晶硅；电磁冷坩埚；连续熔铸；定向凝固 Abs Abstract - - PAGE IV - Abstract With the drastic competition and rapid growth of photovoltaics, cost reducing has been the main development trend. Due to the advantages of high productive rate, uniform structure, low crucible contamination and consumption, cold crucible continuous casting was introduced to cast silicon ingot for solar cells. However, due to the strong cool