传感器原理及应用-姜香菊-第八章气敏和湿敏传感器.pptVIP

* 5、感湿温度系数 反映湿度传感器温度特性的一个比较直观、实用的物理量。它表示在两个规定的温度下，湿度传感器的电阻值(或电容值)达到相等时，其对应的相对湿度之差与两个规定的温度变化量之比，称为感湿温度系数。或环境温度每变化1℃时，所引起的湿度传感器的湿度误差。感湿温度系数 ΔT——温度25℃与另一规定环境温度之差； H1——温度25℃时湿度传感器某一电阻值(或电容值)对应的相对湿度值； H2——另一规定环境温度下湿度传感器另一电阻值(或电容值)对应的相对湿度。 下图为感湿温度系数示意图。 (%RH/℃)= * 相对湿度/% H1 H2 H2 感湿温度系数示意图 相对湿度/% H1 H2 H2 R C T2 T2 T2 T2 25℃ 25℃ (a) 电阻型 (b)电容型 * 6、响应时间 在一定温度下，当相对湿度发生跃变时，湿度传感器的电参量达到稳态变化量的规定比例所需要的时间。一般是以相应的起始和终止这一相对湿度变化区间的63％作为相对湿度变化所需要的时间，也称时间常数，它是反映湿度传感器相对湿度发生变化时，其反应速度的快慢。单位是s。也有规定从起始到终止90％的相对湿度变化作为响应时间的。响应时间又分为吸湿响应时间和脱湿响应时间。大多数湿度传感器都是脱湿响应时间大于吸湿响应时间，一般以脱湿响应时间作为湿度传感器的响应时间。 * 7、电压特性 当用湿度传感器测量湿度时，所加的测试电压，不能用直流电压。这是由于加直流电压引起感湿体内水分子的电解，致使电导率随时间的增加而下降，故测试电压采用交流电压。 右图表示湿度传感器的电阻与外加交流电压之间的关系。可见，测试电压小于5V时，电压对阻——湿特性没有影响。但交流电压大于15V时，由于产生焦耳热，对湿度传感器的阻——湿特性产生了较大影响，因而一般湿度传感的使用电压都小于10V。 Lg R /Ω 0 1 2 3 4 5 6 5 7 8 4 20℃ 100Hz 11% RH 33% RH 75% RH 100% RH U/V * 电阻－频率特性 20℃ 5V 11% RH 33% RH 100% RH Lg f / Hz 0 1 2 3 4 5 6 5 7 8 4 75% RH Lg R /Ω 8、频率特性 湿度传感器的阻值与外加测试电压频率的关系，如图。在高湿时，频率对阻值的影响很小，当低湿高频时，随着频率的增加，阻值下降。对这种湿度传感器，在各种湿度下，当测试频率小于103Hz时，阻值不随使用频率而变化，故该湿度传感器使用频率的上限为103Hz。湿度传感器的使用频率上限由实验确定。直流电压会引起水分子的电解，因此，测试电压频率也不能太低。 * 三、电解质湿度传感器 电解质是以离子形式导电的物质，分为固体电解质和液体电解质。若物质溶于水中，在极性水分子作用下，能全部或部分地离解为自由移动的正、负离子，称为液体电解质。电解质溶液的电导率与溶液的浓度有关，而溶液的浓度，在一定的温度下又是环境相对湿度的函数。 氯化锂湿度传感器的结构 A B B 钯丝 A 涂有聚苯乙烯薄膜的圆筒 电解质氯化锂湿度传感器最为典型 0 30 60 90 0.01 0.1 1 10 R/108Ω 相对湿度/% ① ② ③ ④ ⑤ ④ 1.0 % LiCl ⑤ 2.2%LiCl ③ 0.5% LiCl ② 0.25% LiCl ① PVAC 氯化锂湿度传感器的阻—湿特性 组合式氯化锂的阻—湿特性 0 30 60 90 0.01 0.1 1 10 相对湿度/% R/108Ω 把不同感湿范围的单片湿度传感器组合起来,可制成相对湿度工作量程为20％～90％RH的湿度传感器 * 四、陶瓷湿度传感器 利用半导体陶瓷材料制成的陶瓷湿度传感器。具有许多优点：测湿范围宽，可实现全湿范围内的湿度测量；工作温度高，常温湿度传感器的工作温度在150℃以下，而高温湿度传感器的工作温度可达800℃，响应时间较短，精度高，抗污染能力强，工艺简单，成本低廉。 典型产品是烧结型陶瓷湿敏元件是MgCr2O4－TiO2系。此外，还有TiO2-V2O5系、ZnO－Li2O－V2O5系、ZnCr2O4系、ZrO2－MgO系、Fe3O4系、Ta2O5系等。这类湿度传感器的感湿特征量大多数为电阻。除Fe3O4外，都为负特性湿度传感器，即随着环境相对湿度的增加，阻值下降。也有少数陶瓷湿度传感器，它的感湿特性量为电容。 * 1、结构 该湿度传感器的感湿体是MgCr2O4-TiO2系多孔陶瓷。这种多孔陶瓷的气孔大部分