超精表面缺陷检测的光学混频误差分析.PDF

激光与光电子学进展 52, 021203(2015) Laser Optoelectronics Progress ©2015《中国激光》杂志社 超精表面缺陷检测的光学混频误差分析 1 1 2* 2 1 1 林浩山 陈举科 李玉和 李庆祥 潘福东 王力虎 1广西师范大学物理科学与技术学院,广西 桂林 541004 2清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084 摘要 双频激光外差干涉法与扫描探针相结合的超精表面缺陷检测系统具有很高的分辨率。但系统光源和光学器 件的各种误差因素会产生非线性混频误差，影响系统精确测量。利用琼斯矩阵分析了同时存在激光光源椭圆偏振化 和方位角误差以及光学器件相位延迟和偏振泄漏等综合因素引起的偏振态变