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目 录
目 录
第1章绪论………………………………．……．．1
1．1引言…………………．…．．…………………………l
1．2光纤传感器……………………………………………l
1．2．1光纤传感器的分类…………………………………．………．2
1．2．2光纤传感器的发展方向………………………………………．2
1．3白光干涉传感器的常见解调方法……………………………3
1．3．1条纹计数法……………………………………………．…．3
1．3．2相关解调法………………………………………．………．5
1．4非扫描式白光干涉位移传感器的原理………………………．．7
1．5国内外研究现状………………………………………．．8
1．5．1国外研究现状…………．……………………．………．…．…8
1．5．2国内研究现状………………………………………………．9
1．6选题的意义及内容安排……………………．．…………．．10
1．6．1选题的意义．………………………．……………………．．10
1．6．2论文的结构安排…………………………………………．．．10
1．7本章小结……………………………………………．11
第2章基于相关原理的解调理论研究…………………．12
2．1引言…………………………………．．．…………．．12
2．2楔形薄膜的干涉……………………．………………．．．12
2．3相关解调原理…………………………………………14
2．3．1相关系数……………………………．……．……………．15
2．3．2相关解调原理……………………………………………．．16
2．3．3相关解调的实现形式………………………………………．．17
2．3．4相关原理的验证………………．………．…………………．18
2．3．4输出光强分析…．………………………．．………．……．…20
2．4本章小结……………………………………………．22
第3章楔形膜的制作……………………．………．．23
III
目 录
3．1引言…．．……．……………………………………．．23
3．2光楔的现有制作方法……………………………………23
3．2SU一8胶简介…………………………………………．．24
3．2．1 SU一8光化学反应过程…………．……………………．……．．24
3．2．2SU一8胶的性能参数…………………………………………25
3．3紫外纳米压印技术……………………………………．．26
3．3．1紫外纳米压印准备．……．…．…．．…………………………．．27
3．3．2压印及紫外固化……………………………………………29
3．3．3脱模…．…………………………………………………29
3．3．4坚膜．……………………………………………………29
3．4楔形膜的制作…………………………………………30
3．4．1制作步骤…………………………………………………30
3．4．2影响因素…．………．……………………………………．32
3．4．3楔形膜表面反射率的优化……………………………………．35
3．5本章小结……………………………………………．38
第4章 实验结果及分析……………………………39
4．1系统的搭建…………………………………………．．39
4．2测试结果……………．……………………………．．．40
4．3存在问题………．……………………………………41
4．4本章小结……．………………………………………43
第5章 总结与展望……．………………．…………44
5．1创新之处……………………………………………．44
5．2下一步工作展望…．…．…………．……………………．44
参考文献…………………………………………45
附录1
致谢…．．．……………………………………．．51
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