单晶硅表面超精密切削的分子动力学研究-机械工程专业论文.docx

万方数据 万方数据 学 术 诚 信 承 诺 本人郑重声明：所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工 作及取得研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写的研究成果，也不包含为获得 佳木斯大学或其他教育机构的学位或证书所使用过的材料。与我一同工 作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中做了明确的说明并表示 了谢意。 签名： 日期： 关于论文使用授权的说明 本人完全了解佳木斯大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学 校有权保留送交论文的复印件，允许论文被查阅和借阅；学校可以公布 论文的全部或部分内容，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论 文。 （保密的论文在解密后应遵循此规定） 签名： 导师签名： 日期： 目 录 HYPERLINK \l _bookmark1 摘 要 ........................................ - 1 - HYPERLINK \l _bookmark2 Abstract ........................................ - 2 - HYPERLINK \l _bookmark0 第 1 章 绪论 ........................................ 4 HYPERLINK \l _bookmark3 1.1 课题来源及研究的目的和意义 ................ - 4 - HYPERLINK \l _bookmark4 1.2 单晶硅切削加工仿真的发展现状 .............. - 5 - HYPERLINK \l _bookmark5 1.2.1 单晶硅超精密加工的国内外现状 ......... - 5 - HYPERLINK \l _bookmark6 1.2.2 单晶硅切削的分子动力学仿真发展现状 ... - 6 - HYPERLINK \l _bookmark7 1.3 论文研究内容 .............................. - 9 - HYPERLINK \l _bookmark8 第 2 章 单晶硅超精密切削的分子动力学建模 ....... - 10 - HYPERLINK \l _bookmark9 2.1 引言 ..................................... - 10 - HYPERLINK \l _bookmark10 2.2 分子动力学仿真方法 ....................... - 10 - HYPERLINK \l _bookmark11 2.2.1 分子动力学仿真的基本思想和理论....... - 10 - HYPERLINK \l _bookmark12 2.2.2 周期性边界条件....................... - 12 - HYPERLINK \l _bookmark13 2.2.3 分子动力学系统的运动方程............. - 14 - HYPERLINK \l _bookmark14 HYPERLINK \l _bookmark14 2.2.4 积分算法与势函数..................... - 15 - HYPERLINK \l _bookmark15 2.2.5 系综概念............................. - 18 - HYPERLINK \l _bookmark16 2.2.6 时间步长............................. - 20 - HYPERLINK \l _bookmark17 2.3 分子动力学仿真步骤 ....................... - 22 - HYPERLINK \l _bookmark18 2.4 仿真模型的建立 ........................... - 24 - HYPERLINK \l _bookmark19 2.5 本章小结 ................................. - 25 - HYPERLINK \l _bookmark20 第 3 章 硅表面超精密切削的分子动力学仿真与分析 . - 26 - HYPERLINK \l _bookmark21 3.1 引言 ..................................... - 26 - HYPERLINK \l _bookmark22 3.2 单晶硅切削过程的仿真 ..................... - 26 - HYPERLINK \l