低气压微型ICP激发源激发检测气体样品特性研究-检测技术与自动化装置专业论文.docx

I I 摘 要 摘 要 发射光谱仪是成分检测分析的重要仪器之一，而激发源是发射光谱仪检测分析的重 要组成部分。目前激发源微型化成为光谱仪微型化的关键所在。微型电感耦合等离子体 （ICP, Inductively Coupled Plasma）激发源是一种处于研究阶段的新型低气压放电激发 源，与传统的常压 ICP 激发源相比，其功耗、氩气消耗量、体积、重量均大幅度降低， 且成本低、便于批量生产。微型电感耦合等离子体激发源有望成为新的光谱仪激发源。 关于微型 ICP 激发源性能测试以及仿真理论的研究报道较少，对其激发检测气体样品特 性进行研究是有意义的。 本工作在搭建微型 ICP 激发源测试系统平台的基础上，激发测试气体样品，主要包 括氩气、氩甲烷、乙炔、氟利昂等样品，对激发结果进行了分析。根据激发样品的测试 数据计算了等离子体阻抗参数，评价微型激发源的激发性能及适用范围。其次按照微型 ICP 激发源的原理以及激发源放电室的结构等依据建立了理论模型，探索微型 ICP 等离 子体激发源用于光谱仪的实际激发性能和适合分析的样品种类，分别做了定性分析以及 初步定量分析。 研究的微型 ICP 激发源的起燃功率可降至 3~5 W（常规 ICP 激发源 600~1200 W）、 频率由微波段降至射频段、体积减至数百分之一，微型化、节能降耗效果显著。随着研 究的深入，微型等离子体激发源可能会成为光谱仪、质谱仪等分析检测仪器的一种新型 激发源，并用于微型化分析测试仪器中，具有广阔的应用前景。 关键词 光谱仪 ICP 激发源 微型 气体样品 激发性能 II II Abstract Abstract Emission spectrometer is one of the important analysis chemical composition instruments. Micro inductively coupled plasma (Micro-ICP) excitation source is a new low-pressure discharge excitation source still being studied. Compared with conventional inductively coupled plasma (ICP) excitation source, it has the merits of low power consumption, low argon consumption, size and weight reducing significantly, low cost and easy for mass-production. Micro-inductively coupled plasma excitation source is expected to become a new spectrometer excitation source. Excitation source performance testing and simulation theory of micro-ICP study are less reported, so study on excitation characteristics of gas samples characteristics is meaningful. Present work is to build MICP excitation source test system platform，explode sample gas including Ar, Ar-CH4, C2H2, freon and other samples, analysis excitation results. According to sample test data calculation impedance of plasma parameters, evaluated micro excitation source excitation function and application range. Accordance to the principle of micro-ICP excitation source and excitation source discharge structure establishment of a theoretical model, exploring micro-ICP plasma excitation source performance and sample types for analysis and do a q