单色EL屏产业化中的工艺技术研究-半导体物理与半导体器件物理专业论文.docx

摘要 本篇论文主要针对交流薄膜只要旦旦旦产业化中存在的部分重妥工艺技点， 首先介绍并讨论了E且主屋结构的物理佳能和参主且里，各层薄膜材料的特点和光 学性能，给出了一个简单实用的也型盘型 p 然后简介了美国光阵公司的单色 EL屏 生产线，指出现今 EL产业化中存在的主要工艺技术难点。针对 EL显示对比度有待 提高的缺陷，分析了主要改进方法，研制出黑色 l吸光层，当中，介绍了光学薄膜反 射理论，详细阐述了吸光层的设计和制作工艺，新工艺运用的结果是 TFEL 的平均 反射率从 75% 降到 4%。配合黑色吸光层在矩阵式ELD上的运用，又研制出新型双 层浮脱工艺，从理论分析和实验样品剖面照片看，这种新工艺完全符合 ELD 产业 且也的要求。 γ 自动化生产也是 ELD 产业化中的义一工艺技术难点，本篇论文结合美国光阵 公司的生产线，介绍了 PLC 控制器的基本慨念和实际运用，给出了研制实用的部 分流程图。 ELD工业是新兴产业，如何地川并改造现有的成熟工. 设备，也处 ELD产业 化进程中的又一新课题。本篇论文讨论了 PCB工业设备及工艺，从提高刻蚀均匀性 入手，研制出可行的改造技术方案，使其成为 ELD前电极生产线的一部分。 最后总结了EL的发展趋势.y Abstract In 也is dissertation ，1 studied and solved some important technical problems being at commerciaIization of mono-EL display. At first，1introduced and discussed multi-layer TFEL about its physical performance and electroluminescence characteristics and showed the equivalent physicaI model. Then introduced chiefly mono-EL manufacturing line in 由.e American Lite Array lnc.，pointing out the main tcchnical keys being at manufacturing EL display，today. Due to TFEL displays suffer morc contrast loss in a strong 缸nbient light.Anaiy垣ngmainda臼d ways to improvc the contr剧， 1 studied and invented the black absorption layer，during which introducing reflection principle of optical film，describing care缸lly 也巳 ptocesshowωdesign and manufacture the absorption layer.The result is 由at the average reflection is reduced 企om 75% in the conventional TFEL display to about 4% in the ELD wi也 absorption layer.Furthet more，in order to realize the absorption layer in manufac阳ring ELD，1 gave a new Bi-Lay lift-off proc巳ss aft巳r 创al and error. From the analyse of theory and SEM-photographs of the example，the new process fits into the commercialization. Automation of manufacturing ELD is another technical key. In this dissertation，1 introduce the basic conception 缸J.d realization of PLC (Programmable Logical Controller) combining with Engineer-line of Lite Array，and showed the part of FPD (Flow Progr缸n Drawing). EL industry is a new one. How to choose an