锆钛酸钡钙基无铅压电陶瓷的掺杂改性研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

摘要 摘要 万方数据 万方数据 摘 要 压电陶瓷是一种能够实现机械能和电能相互转换的功能材料，但是现阶段绝大数 压电材料含有铅，而 PbO 在烧结过程中具有相当大的挥发性，对人体和环境造成危 害。压电陶瓷的无铅化成为全社会关注的焦点。因此，研究高性能的环境友好型压电 材料及其制品是目前电子元器件行业的一项紧迫任务，具有十分重大的现实意义。 BCZT 基无铅压电陶瓷由于其优异的压电性能，被寄予能取代含铅压电陶瓷且达到预 期效果的无铅压电材料之一。 稀土元素常被用来改善压电陶瓷的烧结性能并利于获得稳定的电学性能和压电 性 能 等 综 合 特 性 。 本 论 文 采 用 传 统 的 固 相 烧 结 制 备 方 法 ， (Ba0.85Ca0.15)(Zr0.10Ti0.90)O3(B0.85CZT) 和 (Ba0.99Ca0.01)(Zr0.02Ti0.98)O3(B0.99CZT) 基无铅压 电陶瓷，研究了 Ga2O3,Dy2O3, Ba(Cu0.5W0.5)O3 (BCW)掺杂 BCZT 的制备工艺和 BCZT 基无铅压电陶瓷的微观结构、组织、压电及介电性能等。主要内容和创新之处如下： 系统研究了(Ba0.85Ca0.15)(Zr0.10Ti0.90)O3- xwt%Ga2O3 合成和烧结工艺，及陶瓷组成、 结构以及压电、介电、铁电等性能的影响，确定了最佳工艺路线：烧结温度为 1380 ℃，保温时间 6h，在掺杂量为 0.1wt%时获得最佳性能：d33=705pC/N，kp=60%，Qm=109， εr=4550，tanδ=1.8%。居里温度维持在 85℃。 研究(Ba0.85Ca0.15)(Zr0.10Ti0.90)O3- xwt%Dy2O3 体系压电陶瓷的成分与结构，显微组 织，介电，压电和铁电的关系，发现 Dy 的掺杂能够大幅度降低了 B0.85CZT 的烧结温 度，烧结温度降到了 1350℃，其居里温度为 92℃。当掺杂量为 0.04wt%时，陶瓷样 品获得最佳压电性能：d33=545pC/N，kp=48.2%，Qm=117，tanδ=1.3%，εr=3715。 表明(Ba0.85Ca0.15)(Zr0.10Ti0.90)O3- xwt%Dy2O3 无铅压电陶瓷具有十分优良的应用前景。 研究了(Ba0.85Ca0.15)(Zr0.10Ti0.90)O3- xwt%BCW 体系压电陶瓷的成分与结构，显微 组织，介电，压电和铁电的关系，BCW 是一种复合添加物，它既有 CuO 的性能，又 有 WO3 的作用，发现 BCW 的掺杂能够大幅度降低了 B0.85CZT 的烧结温度，烧结温 度降到了 1350℃，其居里温度为 95℃。当掺杂量为 0.10wt%时，陶瓷样品获得最佳 压电性能：d33=555pC/N，kp=55.3%，Qm=128，tanδ=1.4%，εr=3540。 系统研究了(Ba0.99Ca0.01)(Zr0.02Ti0.98)O3- xwt%Ga2O3 合成和烧结工艺，以及对陶瓷 组成、结构以及压电、介电、铁电等性能的影响，确定了最佳工艺路线：烧结温度为 1340℃，保温时间 4h，在掺杂量为 0.08wt%时获得最佳性能：d33=440pC/N，kp=56%， Qm=132，εr=3200，tanδ=1.85%。居里温度维持在 120℃。 研究了(Ba0.99Ca0.01)(Zr0.02Ti0.98)O3- xwt%BCW 体系压电陶瓷的成分与结构，显微 I 锆钛酸钡无铅压电陶瓷的掺杂改性研究 锆钛酸钡无铅压电陶瓷的掺杂改性研究 组织，介电，压电和铁电的关系，烧结温度为 1350℃，当掺杂量为 0.1wt%时，居里 温度达到了 125℃。然而压电性能降低。d33=300pC/N，kp=30%，Qm=68，tanδ=1.6%， εr=2874。 关键词：无铅压电陶瓷；BCZT；钙钛矿； II ABSTRACT ABSTRACT ABSTRACT Piezoelectric ceramics is a functional material which can realize the function of the conversion between mechanical and electrical power. Lead oxide-based piezoelectric ceramics are still widely used; however, the use of lead-based piezoelectric materials leads to the unstability of the composition because of the high volatilizati