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锆钛酸铅陶瓷红外探测器制备与性能研究-电子信息材料与元器件专业论文
独创性声明
本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地 方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。
作者签名: 日期: 年 月 日
论文使用授权
本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定,有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。
(保密的学位论文在解密后应遵守此规定)
作者签名: 导师签名:
日期: 年 月 日
摘
摘 要
I
I
摘 要
锆钛酸铅(PZT)材料是一种典型的铁电材料,具有优良的热释电性能。针对国 内热释电红外探测器存在生产效率低和性能较差的缺点,本论文以锆钛酸铅(PZT) 陶瓷作为敏感元,从制备工艺和器件设计入手,分别对炭黑红外吸收层的图形化、 PZT敏感元的加工工艺和器件热绝缘结构进行研究,从而进一步提高探测器的生产 效率和探测性能。本论文完成了二元单通道和四元双通道探测器的器件设计与制 备,并利用热释电红外探测器性能测试系统对器件的电压响应率(RV)、噪声等效功 率(NEP)、探测率(D*)及热响应时间(τT)等性能指标进行测试。
1、通过紫外感光油墨光刻工艺来实现吸收层图形化,满足工业化生产的要求。
当油墨组分比例为 3:1:0.5,甩胶参数为 2800rpm、30s,曝光时间为 2min 时,可以 获得边缘清晰、图形完整、表面有孔洞存在和吸收性能极佳的油墨吸收层,其在 3μm~5μm 和 8μm~14μm 两个大气窗口的吸收率分别为 86%~90%和 82%~89%。
2、从电路设计、敏感元设计、热绝缘结构和封装设计四个方面完成了二元单 通道和四元双通道探测器的器件设计。使用紫外感光油墨光刻工艺、紫外激光加 工工艺、超声压焊技术以及自动点胶等工艺,完成了上述两类器件的制备。
3、根据热释电红外探测器性能测试系统得知:在 5.3Hz下,二元单通道探测 器RV为 1.186×103V/W,NEP为 5.1×10-10W,D*为 3.67×108cmHz1/2W-1,τT为 40ms;
对于四元双通道探测器,两个测试通道在同一频率下的的探测能力存在差异,但
是随着频率的提升,差距逐渐缩小, 138.3Hz 时两通道的 D* 均接近
3.4×109cmHz1/2W-1,具有较佳的高频探测性能。
4、用背悬空绝热结构代替PI绝热层,探测器性能提升明显。在 5.3Hz下探测 器的RV为 1.55×103V/W,提升了 43.5%,D*为 5.24×108cmHz1/2W-1,提高了 42.8%, 最大探测率达到 5.59×109cmHz1/2W-1。在敏感元上加工隔热槽,可以进一步减小器 件NEP,提升器件探测率。实验结果表明,具有 6 条隔热槽的探测器最大探测率可 以达到 6.87×109cmHz1/2W-1,说明与改变器件热绝缘结构相比,隔热槽的引入对探 测器性能的提升效果更佳。
关键词:PZT 陶瓷,紫外感光油墨,紫外激光,热释电红外探测器
ABSTRACT
ABSTRACT
II
II
ABSTRACT
Lead zirconate titanate (PZT) is a sort of ferroelectric material, which has good pyroelectric properties. Since the pyroelectric infrared detectors of domestic production have low performance and production efficiency, the related researches are requisite and valuable. This thesis mainly does research on the patterned carbon infrared absorber, preparation of PZT ceramics as sensitive elements and thermal-insulated structure to advance performance and production efficiency of detectors. The single channel detector of double elements and d
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