基于绝缘体上硅的一种改进的Mach-Zehnder声光调制器.PDF

基于绝缘体上硅的一种改进的Mach-Zehnder声光调制器 秦晨 余辉 叶乔波 卫欢 江晓清 AnimprovedMach-Zehnderacousto-opticmodulatorona silicon-on-insulator platform QinChen YuHui YeQiao-Bo WeiHuan JiangXiao-Qing 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,014304(2016) DOI: 10.7498/aps.65.014304 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.014304 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I1 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 基于等效参数反演的敷设声学覆盖层的水下圆柱壳体声散射研究 Investigation of underwater sound scattering on a cylindrical shell coated with anechoic coatings by the finiteelementmethodbasedonanequivalentparameter inversion 物理学报.2016,65(1): 014305 /10.7498/aps.65.014305 声子晶体中的半狄拉克点研究 Semi-Diracpointsintwo-dimensionalphononiccrystals 物理学报.2015,64(19): 194301 /10.7498/aps.64.194301 稳态损耗因子的衰减法识别研究 Estimationofsteadylossfactorwithdecayratemethod 物理学报.2015,64(18): 184301 /10.7498/aps.64.184301 一维亥姆霍兹共振腔声子晶体中缺陷模式的实验研究 Experimentsondefectmodeofone-dimensionalphononic crystal containing Helmholtz resonators 物理学报.2013,62(9): 094304 /10.7498/aps.62.094304 晶格中心插入体的对称性及取向对二维声子晶体带隙的影响 Thetwo-dimensionalphononiccrystalbandgapstunedbythesymmetryandorientationoftheadditional rodsinthecenterofunitcell 物理学报.2012,61(23): 234302 /10.7498/aps.61.234302 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 1 (2016) 014304 基于绝缘体上硅的一种改进的Mach-Zehnder 声光调制器 秦晨 余辉 叶乔波 卫欢 江晓清 (浙江大学信息与电子工程学院, 集成光电子实验室, 杭州 310027) ( 2015 年7 月6 日收到; 2015 年8 月24 日收到修改稿) 传统的基于绝缘体上硅的Mach-Zehnder (MZ) 声光调制器中, 叉指换能器位于两臂的同一侧. 为实现高 的调制效率, 声表面波的波峰和波谷分别调制MZ 干涉仪的两臂, 这要求控制MZ 干涉仪两臂之间的距离为 奇数倍声波半波长. 但实际上由于传播过程中衬底材料的变化, 声波波长会变大, 这会导致两臂的间距难以 准确设置. 另一方面, 声波在传播过程中经过MZ 干涉仪的一臂后会发生衰减, 降低了对另一臂的调制效果, 影响了整体的调制效率. 本文针对这些问题给出了一种解决方案, 把叉指换能器放在MZ 波导两臂之间, 确保 MZ 干涉仪两臂到叉指电极中心距离相等. 采用有限元法, 首先对新提出的结构进行分析, 然后通过声光互作 用原理得到了材料的折射率变化; 进而研究了波导类型、波导宽度、氧化锌厚度及叉指对数等因素对声光调制 效率的影响, 并对声光调