射频磁控共溅射纳米颗粒镶嵌薄膜光学性质！.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 0! D 22 D ， ， ， ?/G 0! Y/ D 7SH:G 22 （ ） !222A,1292290! 2D 9244A23 7V7 .W%-X7 -XYX7 %22 ’:* .’P8 -/Q 射频磁控共溅射!#$% ’() 纳米颗粒镶嵌 薄膜的光学性质! ）） ） ） ） ） ） ! # ! ! ! 丁瑞钦 王 浩 于英敏 王宁娟 佘卫龙 李润华 ） ） ） , ） , ） 丘志仁 罗 莉 蔡志岗 $ % ’()*+ - . $/*+ !）（五邑大学薄膜与纳米材料研究所，江门 0122 ） ）（中山大学超快速激光光谱国家重点实验室，广州 0!230 ） , ）（香港中文大学电子工程系暨材料科技研究中心，新界，香港） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） 22! , ! 22! 4 2 应用射频磁控共溅射方法和真空退火方法制备了 纳米颗粒镶嵌薄膜 射线衍射实验结果表明，经 56789 -:; = 高温退火的薄膜中形成了面心立方闪锌矿结构的 纳米晶粒，晶粒平均直径为 — 吸收光谱展示了 5678 ! 0 , * 由于强量子限域引起的 — 的吸收边蓝移 室温光致荧光（ ）光谱显示了电子 重空穴激子与电子 劈裂空穴 !0 (? .@ A A 激子的近紫外和紫外双 谱峰以及深俘获态的 谱峰 对实验吸收边蓝移量与有效质量模型的蓝移量的悬殊差 .@ .@ 别、俘获态 谱的形成以及 谱线的特征作了解释 应用激光 扫描技术测量了退火温度为 的复合膜在非 .@ .@ B 022C 共振条件下的光学非线性，结果表明，复合膜的非线性折射率系数和非线性吸收系数都比块材5678 相应的系数增 大了 个数量级 光学非线性系数增大主要起因于强量子限域效应