红外增透膜研究和展望.PDFVIP

第40 卷 第3 期 红 外 技 术 Vol.40 No.3 2018 年3 月 Infrared Technology Mar. 2018 红外增透膜研究与展望 董 超，路 海,沈克胜,熊宗刚,刘孝宇,张现周 （河南师范大学物理与材料科学学院，光电子技术及先进制造河南省工程实验室，河南 新乡453007 ） 摘要：主要就国内红外增透膜的研究与进展，从多个角度综述了红外增透膜的发展、改进与拓展。根 据已有研究从材料、仪器与方法等多个方面分析预测了红外增透膜的发展趋势。 关键词：红外增透膜；透过率；保护膜；红外光学器件 中图分类号：TN214 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2018)03-0209-05 Research and Prospects of Infrared Antireflection Coatings DONG Chao ，LU Hai ，SHEN Kesheng，XIONG Zonggang ，LIU Xiaoyu ，ZHANG Xianzhou (Engineering Laboratory for Optoelectronic Technology and Advanced Manufacturing, College of Physics and Materials Science, Henan Normal University, Xinxiang 453007, China) Abstract ：This paper predominantly summarizes the developments, improvements, and prospects of infrared antireflection coatings. The author also suggests that improvements in materials selection, instruments, and new methods should be emphasized in future studies of infrared antireflection coatings. Key words ：infrared antireflcetion coatings，transmittance ，protective films ，infrared optical device 义。 0 引言 1.1 近红外 （0.78～2.5 m ）波段增透膜 红外技术最初主要用于军事领域，后来随着科技 可见和近红外光谱分析具有信息量大、测试种类 的发展，红外在大气探测、航天、甚至很多民用等领 多、无损测试等优点，因此镀制可见与近红外的增透 域也逐渐扮演重要角色[1] 。在红外光学系统中，红外 膜在分析测试领域有着重要意义，贺才美等[3] 以多光 光能量的透过率决定了该系统性能的好坏。减少光学 谱ZnS （硫化锌）为基底，以ZnS 和YbF3 （氟化镱） 元件表面的反射，从而增加光学系统在工作波段内的 为高低折射率材料所镀制的增透膜在 400～1000 nm 透过率对于生产实践有着重大意义[2] 。因而，通过在 的平均透射率大于91%，实现了可见与近红外的增透 红外光学元件表面镀制增透膜来降低其表面反射损 效果；杨道奇等[4]分别以TiO2 （二氧化钛）、M1 （主 失，从而提高整个光学系统的性能已成为研究重点。 要成分是Pr:Al O ）和SiO