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注入Mo在Zr非晶合金中的扩散!-物理学报-中国科学院物理研究所
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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注入! 在#$ ’( )* ’. 12 非晶合金中的扩散!
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王秀英 高 明 孙力玲 刘日平 张 君 王文魁
!）（河北省亚稳材料制备技术与科学重点实验室，燕山大学材料工程学院，秦皇岛 $%%$$ ）
# ）（燕山大学产业集团，秦皇岛 $%%$$ ）
）（中国科学院物理研究所，北京 !$$$’$ ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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通过二次离子质谱仪（ ）研究了 在 非晶合金中的扩散，并计算出其扩散激活能
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和前置系数 分别为 和 . # ! 根据 关系式研究了玻璃转变温度以下 —
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E 之间,- 01 23 05 67 非晶合金的黏滞特性，得到的黏滞系数从.8 E 的!4$/ ; !$!$ F+59 降到%/ E 的!4# ;
./ . !. 4 !# 4% !$
!$’ F+59 ?
关键词：扩散，离子注入，二次离子质谱（ ），黏滞特性
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控制工艺参数制备符合要求的微结构? 到目前为止，
!4 引 言 有关,-G52305K9 非晶合金的扩散行为已做了些研
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