高功率精密压电陶瓷驱动电源的研究与设计-精密仪器及机械专业论文.docxVIP

合肥工业大学本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业 合肥工业大学 本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业 大学学历硕士学位论文质量要求。 主席：合肥工业大学，教授， 屠夕阳Z 委员：安徽大学，副教授，召嘭嘴 合肥工业大学，副教授， 李建利 合肥工业大学，副教授，黝 导师：台J似业久多，擞．冰勿一 万方数据 学位论文独创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据 学位论文独创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行独立研究工作所取得的成果。据 我所知，除了文中特别加以标注和致谢的内容外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究 成果，也不包含为获得金目巴工业太堂 或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料．对本文 成果做出贡献的个人和集体，本人已在论文中作了明确的说明．并表示谢意。 学位论文中表达的观点纯属作者本人观点。与合肥工业大学无关。 学位论文作者签名： 签名日期：D I 6年q-,El 22日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解金l巴工些太堂有关保留、使用学位论文的规定，即：除保密期 内的涉密学位论文外，学校有权保存并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子光盘。允 许论文被查阅或借阅。本人授权 金目墨工业太堂可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关 数据库，允许采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文作者签名： 叶庄 指导教师签名：，．星，承丢红 签名EtI犊t： 10Il年吁月】1日 签名日期： 2,ol 11年中月灯Et 论文作者毕业去向 工作单位：嘞哥柳枝辞日锋3％硼锭矾 联系电话：f}f¨坩lj lII， E-1118 i l：嫡j吖@妣·曲” 通讯地址：危9凸午离鲕色痞辑太电邮政编码：幻咖l 寺屯38颐 万方数据 致谢谨以此文献给所有关心我、支持我、鼓励我的老师、同学、朋友和亲人们!三年 致谢 谨以此文献给所有关心我、支持我、鼓励我的老师、同学、朋友和亲人们!三年 的研究生生活将要在这个离别的季节划上一个句号，对于我来说这仅仅是一个逗号， 新的征程在我面前即将开始。三年的求学生涯走得虽然艰辛，但在师长以及身边亲友 的帮助支持下却收获颇多。 感谢我的导师王永红教授，感谢您在科研及生活上给予我的悉心指导与帮助，您 学识渊博，治学严谨，视野开阔，不仅为我营造了一种良好的精神氛围，而且使我接 受了全新的思想观念，领会了基本的思考方式；在实验和论文遇到困难时，是您给了 我方向和实践上的关键指导，让我茅塞顿开。 毕业研究工作和论文撰写也得到了王标老师的悉心指导。王标老师严谨的治学态 度、活跃的思维方式和平易近人的风格深深地影响到我，激励着我。王标老师在细节 上的指导让我学到了很多知识，在此向王标老师表达我衷心的感谢和诚挚的敬意! 还要感谢实验室的同窗们，感谢你们陪我度过了人生中最重要也是最快乐的三年 时光，感谢你们在我的毕业设计遇到瓶颈时给我的帮助和鼓励。感谢同寝室的室友们， 你们给我创造了良好的寝室环境与学习氛围! 最后感谢我的父母，是你们的爱和支持让我不畏挫折，不断前进! 最后再一次感谢所有在毕业设计中曾经帮助过我的良师益友和同学，以及在设计 中被我引用或参考的论著的作者。 叶彦 2016年4月6日 万方数据 高功率精密压电陶瓷驱动电源的研究与设计 高功率精密压电陶瓷驱动电源的研究与设计 摘 要 随着科学技术的不断进步以及工业工程的发展，微定位技术已成为科研人员从宏 观领域向微观领域扩展研究的一项关键技术。压电陶瓷材料凭借位移分辨力高、不产 热、不易受电磁干扰等优点，己成为微定位系统中理想的驱动元件。而驱动电源是驱 动压电陶瓷工作的关键部分，本文针对压电陶瓷驱动电源进行了研究和设计。 本文研究的内容主要有以下三个方面。 (1)建模研究压电陶瓷的驱动特性，归纳出一种预测压电陶瓷驱动特性(电压． 位移曲线)的方法；在此基础上，研究了一种补偿压电陶瓷迟滞的算法。实验证明， 该预测方法与补偿算法均具有较高可行性和实用性。 (2)设计并制作了一套压电陶瓷驱动电源，可输出精确的直流电压，其纹波、 线性度、稳定性、重复性等都达到设计要求；为了提高驱动压电陶瓷负载时的频率与 响应速度，电源还具有输出功率放大功能。论文完成了电路设计、器件选型和电源制 作，并编制了电源控制软件。电源具有与PC机通过通信接口进行通信并发送控制指 令的功能。软件部分包括微处理器初始化、中断程序、通信响应程序、D／A控制程序、 电压信号采集程序以及压电陶瓷迟滞补偿程序。 (3)实验验证该压电陶瓷驱动电源的各项性能指标，包括电压纹波及线性 度、稳定性、重复性和实际输出功率；开启迟滞补偿功能验证该