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优秀毕业论文 精品参考文献资料 浙江工业大学硕士学位论文ELID 浙江工业大学硕士学位论文 ELID磨削模糊控制加工系统的关键技术研究 摘要 随着电子、光学等行业的快速发展，对于单晶硅、硬质合金等硬 脆材料的／jut表面质量及加工效率提出了越来越高的要求。这些硬脆 材料一般均由研、磨、抛加工完成，其中可实现高效率、超光滑表面 加工的ELID超精密磨削方法受到了科研与企业界的广泛重视。 ELID具有效率高，精度高，表面质量好，加工装置简单及加工材 料适应性广等优点，尤其对于陶瓷、硬质合金等硬脆材料的高效超精 密加工具有独特的优越性。这种先进的磨削加工技术将成为今后超精 密磨削加工的主要发展方向与手段之一。 本文重点分析了ELID磨削过程中砂轮表面氧化膜的作用机理，经 分析得出：ELID磨削加工过程中的电压电流值的大小可以表征氧化膜 的状态，并通过一系列的工艺实验研究了磨削电流值的大小与砂轮磨 削效果之间的关系。在实现ELID磨削加工状态准确识别的基础上，针 对ELID磨削过程的非线性和时变性，通过MATLAB仿真制定模糊控 制规则，并采用单片机控制技术开发出了基于模糊控制的ELID磨削智 能加工系统。 本文将智能技术和微机技术与ELID磨削技术相结合，在积累加工 经验，优选加工参数的基础上，研制了一个能感知加工过程变化，并 实时控制加工过程的ELID加工系统。该加工系统以优化加工过程、提 浙江工业大学硕士学位论文高工艺指标、提高自动化水平为目标。 浙江工业大学硕士学位论文 高工艺指标、提高自动化水平为目标。 最后，采用研制的ELID磨削智能加工系统进行了对硬质合金的磨 削实验，结果显示相对于原有系统，智能加工系统的动态响应以及稳 定性都有明显提高。 关键词：ELID磨削，氧化膜，加工检测，模糊控制 本文获国家自然科学基金项目资助 浙江工业大学硕士学位论文STUDY 浙江工业大学硕士学位论文 STUDY ON ELID GR n①n叮G INTELLIGENT MACHDⅡNG SYST：巳M AB STRACT High surface quality and machining efficiency of hard and brittle materials such as single crystal silicon，tungsten carbide are required by the rapid development of electronic and optical materials．Electrolytic In—Process Dressing(ELID)，which could achieve hi曲efficiency and super-smooth surface，has been attached much importance in science research and industry fields gradually． ELID has many advantages such as hi曲efficiency and accuracy, superior surface quality,and it could be simply applied and adaptive to many kinds of materials，especially its distinctive superiority for ceramic， tungsten carbide etc．This advanced grinding technique will be the maj or development tendency in super-precision machining field． This dissertation firstly aims to combine artificial intelligent(AI)and microcontroller technique to ELID grinding．On the base of accumulated machining experience and optimized processing parameters，all ELID machining system，which could detect the change of machining process and real—time control the process，Was developed．The obj ective of the AI 浙江工业大学硕士学位论文system 浙江工业大学硕士学位论文 system is to optim