大口径非球面反射镜加工领域技术进展.PDFVIP

大口径非球面反射镜 加工领域的技术进展 ■ 闫锋 曾雪锋 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中科院光学系统先进制造技术重点实验室 1 引言 磨或抛光。数控技术的引入使得磨头的位置、速度 、 非球面能够在不 运动轨迹精确可控 ，同时通过控制磨头与工件的相 增加系统 中光学元件 对压强和速度 以及驻留时间实现确定加工位置的准 数 目与独立像差数的 定量去除 ，从而实现高确定性光学加工。相对传统 条件下 ，增加系统优 定性光学加工 ，CCOS 加工技术将传统光学加工从 化 的 自由度 ，在提高 定性加工向确定性加工推动了一大步 ，大大的提高 系统性能的