基于pvdf的微力传感器的研制-机械电子工程专业论文.docxVIP

摘要随着MEMS(Micro 摘要 随着MEMS(Micro Electronic Mechanical Systems，微机电系统)技术的 迅猛发展，把MEMs器件组装成多功能的微机电系统，已成为一大趋势， 迫切需要能够完成微装配、封装作业的微装配桃器人系统。在微装配过程 中，力觉信息与视觉信息融合，能够将更加精确、全面、实时的工作状态反 馈给操作者。因此，多维微力／力矩传感器是准确完成微装配的关键。 聚偏二氟乙烯(Polyvinylidene fluoride，简称PVDF)压电材料具有频带 宽、压电电压常数高、灵敏度高、价格便宜等优点，是一种理想的机器人用 传感器材料，用其制作的传感器非常灵敏。本文在全面分析国内外微力传感 器研究状况的基础上，针对MEMs微装配对微力传感器的要求，设计了基 于PVDF压电薄膜的一维和三维微力传感器结构，建立了传感器的数学模 型，并对其进行了有限元分析，研究了压电薄膜的压电机理，根据PVDF 压电薄膜的特点，确定了PVDF传感器的制作方法，研制了传感器本体。 针对微力传感器输出信号的特点，设计了基于电荷放大器的处理电路， 给出了压电式传感器的等效电路，分析了电荷放大器的原理，在此基础上， 选用了UA303信号采集卡进行AID转换，开发了数据采集处理程序，从而 实现了微力传感器的计算机数据采集与处理。 对所研制的微力传感器静态性能进行了测量和分析，给出了包括线性 度、重复性、精确度、分辨率等性能指标，计算了三维微力传感器的去耦系 数矩阵，并对微力传感器进行了误差分析。实验结果表明，所设计的微力传 感器系统满足设计指标要求。 最后，为比较PVDF压电式传感器与传统电阻应变式传感器的性能， 设计了一维电阻应变式传感器，建立了电阻应变传感检测系统，通过两种传 感器静动态性能的比较，表明PVDF压电式传感器具有分辨率高、响应快 的优越性能。 微力传感器的研究是微装配机器人的关键技术之一，本文的研究对 MEMS微装配技术的发展起到一定的推动作用。 关键词微装配；微力传感器；PVDF；电荷放大器；静态测试 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文Abstract 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 Abstract With the rapid development of MEMS(Micro Electronic Mechanical systems)technology,it has already become a main trend to assemble MEMS devices into a multi．functional micro electronic mechanical system．The micro— assembly robot system that can finish micro--assembly and micro-·encapsulation are urgently commanded．In the operation，force sensors can provide the operator with precise，omnifaceted，real-time information about the operating environment， fused with optical sensors．Therefore，force sensor is pivotal for the micro— assembly． As a kind of piezoelectricity material，Polyvinylidene fluoride(PVDF)has such advantages as wide bandwidth，high piezoelectricity constant，high sensitivity and low price，etc．It is a kind of ideal material for robot sensor,and the sensor made of it is very sensitive．Based on the comprehensive analysis of micro-foroe sensor research state both domestic and international，and aimed at the demand of micro·assembly,this paper designs a new kind of structure of 1- dimension and three-dimension micro—force sensor based on PVDF film，gives t