材料研究方及电子显微镜.pptVIP

1.电子束与固体物质相互作用产生的物理信号 材料研究方法 电子束作用于试样上所产生的物理信号主要有背散射电子、二次电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、连续X射线、特征X射线、X荧光、阴极发光、衍射电子等。 材料研究方法 物理信号 产生深度 产生广度 用 途 分辨率 仪 器 俄歇电子 ＜10? 等于电子束作用面积 表面形貌和成份像 10~100 ? 俄歇电子谱仪 二次电子 ＜100 ? 约等于电子束 形貌像、结构像 30~100 ? 扫描电镜 背散射电子 较大 大于电子束 形貌像、成份像 50~2000 ? 扫描电镜、电子探针 吸收电子 电子穿透深度 大于电子束 形貌像、成份像 1000~10000 ? 扫描电镜、电子探针 透射电子 形貌像、结构像 1.4~100 ? 透射电镜 特征X射线 略小于电子穿透深度 大于电子束 元素定量、定性分析、元素面分布像 电子探针 阴极发光 大于电子穿透深度 远大于电子束 晶体缺陷、杂质元素分布像、晶体发光 3000~10000 ? 扫描电镜、电子探针 各种物理信号各种的产生深度、 广度、途和分辨率深度和广度范围 材料研究方法 各种物理信号应用的深度和广度 材料研究方法 概念：背散射电子是被固体样品反射回来的入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。弹性背散射电子的能量几乎没有损失，而非弹性背散射电子的能量有不同程度的损失。 2 各种物理信号的产生机理及用途 2.1 背射电子 特点：总的来说，背散射电子的能量较高，等于或接近入射电子的能量。其产率随试样原子序数的增大而增大。 用途：在扫描电镜和电子探针中，用背散射电子可以获得试样的表面形貌像和成分像。 材料研究方法 概念：在入射电子的撞击下，脱离原子核的束缚，逸出试样表面的自由电子称为二次电子。 特点：二次电子的能量较低(小于50eV)，产生范围小（仅在试样表面10nm层内产生）；产率与试样的表面形状密切相关，对试样的表面状态非常敏感，能很好地反映试样的表面形貌。 用途：在扫描电镜中用来获取试样的表面形貌像。 2.2二次电子 材料研究方法 概念：被试样吸收掉的入射电子称为吸收电子。 特点：吸收电子的数量与试样的厚度、密度、组成试样的原子序数有关。试样的厚度赿大、密度赿大，原子序数赿大，吸收电子的数量就赿大。如果试样足够厚，电子不能透过试样，那么入射电子I0与背散射电子IB、二次电子IS和吸收电子IA之间有以下关系 I0=IB+IS+IA 故吸收电子像是二次电子像、背散射电子像的负像。 用途：在扫描电镜中，可以用其获取试样的形貌像、成分像。 2.3 吸收电子 材料研究方法 概念：穿透试样的入射电子称为透射电子。 特点：透射电子的数量与试样的厚度和加速电压有关。试样厚度赿小，加速电压赿高，透过试样的电子数量就赿多。试样比较薄的时候，由于有透射电子存在，(1)式的右边应加上透射电子项，即 I0=IB+IS+IA+IT 用途：透射电子是透射电子显微镜要检测的主要信息，用于高倍形貌像观察，高分辨原子、分子、晶格像观察和电子衍射晶体结构分析。 2.4透射电子 材料研究方法 由俄歇作用产生的自由电子称为俄歇电子。如下图所示，入射电子使试样中某原子的内层(如K层)电子激发(打飞)后，外层电子(如L2层电子)将回跃到内层(K层)来填补空位，多余的能量(△E=EL2-EK)不是以特征X射线的形式释放出来，而是传给了外层(如L3层)的电子，使之激发。这个过程称为俄歇作用，由此产生的自由电子称为俄歇电子。 2.5俄歇电子 材料研究方法 俄歇电子与特征X射线一样，具有特定的能量和波长，其能量和波长取决于原子的核外电子能级结构。因此每种元素都有自己的特征俄歇能谱。俄歇电子的能量一般是50~2000eV，逸出深度4~20?，相当于2~3个原子层。这种电子能反映试样的表面特征。 因此,检测俄歇电子可以对试样表面成分和表面形貌进行分析。 材料研究方法 与X射线管产生连续X射线的原理一样，不同的是，这里作阳极的不是磨光的金属表面，而是试样。当电子束轰击试样表面时，有的电子可能与试样中的原子碰撞一次而停止，而有的电子可能与原子碰撞多次，直到能量消耗殆尽为止。每次碰撞都可能产生一定波长的X射线，由于各次碰撞的时间和能量损失不同，产生的X射线的波长也不相同，加上碰