光指针式微小位移测量仪.PDFVIP

第 27 卷 　第 8 期 物 　理 　实 　验 Vol . 27 　No . 8 2007 年 8 月 　　 　 　　 　　　　　P H YSICS EXP ER IM EN TA T ION 　　　　 　　　　 Aug . ,2007 光指针式微小位移测量仪 谢嘉宁 ,黄义清 ,陈东平 ,俞理云 ,赵惠珊 ,黄国明 (佛山科学技术学院 光电子与物理学系 ,广东 佛山 528000) 　　摘 　要 :光指针式微小位移测量仪巧用光路将微小的位移量放大 ,从光指针终端的标度盘上可以直接读取实际的位 移数值. 关键词 :角位移 ;反射 ;微小位移 中图分类号 : T H822 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 (2007) 0800 1603 　　现行的微小位移测量仪大多采用传感器将位 移量转换为电量 ,再通过放大电路测量 ,但是无论 哪种类型的传感器都需要一整套的传感测量仪和 显示设备 ,成本较高且不方便携带[ 1～2 ] . 本文介 绍的光指针式微小位移测量仪最小分度值可以达 μ